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测量范围 | Z轴(垂直)160μm / X轴(水平)17.5mm(0.71inch) |
分辨率Z轴(垂直) | 0.01μm/±20μm 0.02μm/±40μm 0.04μm/±80μm |
测量参数 | Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr 增加Rpc、Rk、 Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
显示范围 | Ra,Rq:0.005μm~16μm;Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,:0.02μm~160μm Rsm, Rs:1mm;Rmr:0~99%;Rsk:0~99% |
图形 | 支承率曲线,粗糙度轮廓,直接轮廓 |
滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P |
取样长度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm |
评定长度(ln) | Ln= lr×n n=1~5 |
测量原理 | 位移式差动电感 |
触针 | 天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径 |
测力 | <4mN |
导头 | 硬质合金,滑行方向半径40mm |
滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s |
示值误差 | 不大于±10% |
示值变动性 | 不大于6% |
电源 | 内置锂离子充电电池,用DC5V,800mA充电器充电 |
外形尺寸 | 158x63.5x46mm |
重量(主机) | 约300g |
工作环境 | 温度:- 20℃ ~ 40℃ 湿度:< 90% RH |
储存运输环境 | 温度:- 40℃ ~ 60℃ 湿度:< 90% RH |