四氯化硅处理成套系统
一、概述
    四氯化硅处理成套系统，四氯化硅尾气回收系统是专门应用于多晶硅生产线的尾气回收装置，利用本回收系统将废气回收成二氧化硅和盐酸，本系统已获国家，经产品投放市场，取得了良好的经济效益。
生产多晶硅是一个提纯过程，主要原料是三氯氢硅，再用氢气进行一次性还原，这个过程中约有25%的三氯氢硅转化为多晶硅，其余大量进入尾气，同时形成副产品——四氯化硅。四氯化硅是高危产品，遇空气遇水会产生对人体有害的*气体。在这个过程中，如果回收工艺不成熟，三氯氢硅、四氯化硅、*、氯气等有害物质极有可能外溢，存在重大的安全和污染隐患。而且多晶硅与四氯化硅的生成比例为1：15，即生产一吨多晶硅，就需要处理15吨的四氯化硅，处理量非常大。目前国内处理多晶硅在技术上已经开创出了两个方式，一是将四氯化硅热氢化后再生成生产多晶硅的原料，可以回收利用一部分四氯化硅，但不能*回收，还是会产生污染。第二种方法就是通过化工工艺将四氯化硅转化成高附加值的化工产品，即无毒无害的二氧化硅，我公司经过几年的实践与应用，成功地将本技术应用于本行业中，将尾气“变废为宝”。
二、四氯化硅处理成套系统，四氯化硅尾气回收系统工作原理
（1）、四氯化硅提纯：
因四氯化硅中含有一些杂质，为了得到品质高的二氧化硅和盐酸，将四氯化硅在蒸发器中蒸发，再经精馏塔提纯，使其得到纯度非常高的四氯化硅气体。
（2）、四氯化硅水解：
纯的四氯化硅气体进入到水解塔内，同时循环液通过泵的作用使循环液均匀分布到各个雾化器当中，通过雾化器向下喷淋。与进入水解塔内的四氯化硅发生反应，形成硅酸及*气体。
（3）、二氧化硅的形成：
硅酸进入压滤系统进行压滤成为滤饼，再进入干燥机干燥后形成纯度为99.85％的二氧化硅。
（4）、回收盐酸：
*气体进入降膜回收装置，气体与水反应生成盐酸。同时冷却水进入本装置内对*进行冷却，以增加*的回收效率。
没有反应完的*气体再进入下一级吸收塔内，再进行一次盐酸的回收，zui后气体达标排放。

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