温等离子设备体废气处理设备结构原理：
温等离子设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无害或毒害的物质，从而使得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，温等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度慢的化学反应变得快速。

温等离子设备体废气处理设备去除的机理：
等离子体化学反应过程中，温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场＋电子→能电子
(2) 能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，温等离子设备电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有好的化学活性，在化学反应中起着的作用。