四氯化硅处理成套系统
一、概述
    四氯化硅处理成套系统，四氯化硅尾气回收系统是应用于多晶硅生产线的尾气回收装置，利用本回收系统将废气回收成二氧化硅和盐酸，本系统已获，经投放，取得了好的效益。
生产多晶硅是一个提纯过程，主要原料是三氯氢硅，再用氢气进行一次性还原，这个过程中约有25的三氯氢硅转化为多晶硅，其余大量进入尾气，同时形成副——四氯化硅。四氯化硅是危，遇空气遇水会产生对体有害的气体。在这个过程中，如果回收工艺不成熟，三氯氢硅、四氯化硅、等有害物质有可能外溢，存在的安全和污染隐患。而且多晶硅与四氯化硅的生成比例为1：15，即生产一吨多晶硅，就需要处理15吨的四氯化硅，处理量非常大。目前内处理多晶硅在上已经开创出了两个方式，一是将四氯化硅热氢化后再生成生产多晶硅的原料，可以回收利用一部分四氯化硅，但不能回收，还是会产生污染。二种方法就是通过化工工艺将四氯化硅转化成附加值的化工，即无害的二氧化硅，我公司经过几年的与应用，地将本应用于本中，将尾气“变废为宝”。
二、，四氯化硅尾气回收系统工作原理
（1）、四氯化硅提纯：
因四氯化硅中含有一些杂质，为了得到的二氧化硅和盐酸，将四氯化硅在蒸发器中蒸发，再经精馏塔提纯，使其得到纯度非常的四氯化硅气体。
（2）、四氯化硅水解：
纯的四氯化硅气体进入到水解塔内，同时循液通过泵的作用使循液均匀分布到各个雾化器当中，通过雾化器向下喷淋。与进入水解塔内的四氯化硅发生反应，形成硅酸及气体。
（3）、二氧化硅的形成：
硅酸进入压滤系统进行压滤成为滤饼，再进入干燥机干燥后形成纯度为99.85的二氧化硅。
（4）、回收盐酸：
气体进入降膜回收装置，气体与水反应生成盐酸。同时冷却水进入本装置内对进行冷却，以增加的回收效率。
没有反应完的气体再进入下一级吸收塔内，再进行一次盐酸的回收，zui后气体达标。

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