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采用特殊的高能、高臭氧紫外光束照射废气，使有机或无机聚合物异味化合物分子链，在高能紫外光照射下，与臭氧发生反应，如CO2、H2O。投资成本低，适用范围广，净化效率高，操作简单，除臭效果好，设备运行稳定，占地少，运行成本低，无二次污染。

在工业生产过程中，排放的有机尾气通过引风机进入设备的旋转阀，通过选转阀将进口气体和出口气体*分开。气体首先通过陶瓷材料填充层（底层）预热后发生热量的储备和热交换，其温度几乎达到催化层（中层）进行催化氧化所设定的温度，这时其中部分污染物氧化分解；废气继续通过加热区（上层，可采用电加热方式或天然气加热方式）升温，并维持在设定温度；其再进入催化层完成催化氧化反应，即反应生成CO2和H2O，并释放大量的热量，以达到预期的处理效果。