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襄阳仪波达单 双工位旋转腐蚀机经过多次的试验与研发修改,采用美国进口设备的技术方案再进一步做了更人性化,更自动化的改进,使作业员在操作时更加方便,省时省力,驱动阀门及管路部分全部采用四氟耐酸材质,寿命长,故障率低,电箱及阀门箱也己设计气压注入方式,使箱体内产生正气压,酸气不易进入,保护电器元件寿命,动作部分采用电机直接驱动主轴,旋转稳定,出水快速,甩干时自动吹氮气,腐蚀出来的硅片均匀,稳定。整机操作简单方便,就算新人也可很快熟悉操作机器,而且速度快质量好。
襄阳仪波达单 双工位旋转腐蚀机用途:硅片腐蚀。设备特点:手动自动自由切换,腐蚀时间可方便查看及设定,设备安全稳定,寿命长。主要技术指标:1、整机尺寸:1000X760X1365。1、总功率:500W。2、两工位腐蚀,并且可腐蚀不同硅片,适合产品批量生产。3、可适用于φ30—φ76.2及更大的硅片。4、腐蚀头及阀门,管路部分全部采用四氟耐酸材料,寿命长,故障率低。
使用前,先检查电源是否接好(220VAC)二相三线制,接地线是否正常,设备上是否有杂物。2、检查气路及水路部分是否正常,电箱内压力表是否有气压,并伴有漏气声音,以保证电箱及阀门箱内有正气压。3、根据腐蚀硅片的大小选择相应的卡盘并组装到位不偏摆。4、调节腐蚀头及喷水头的位置及角度,正常为酸及水喷在硅片外圆切线处。5、调节好腐蚀时间和旋转速度即可正常工作。