ulvac-kiko多级罗茨型干泵 真空泵 干泵

ES4A/ES10ulvac-kiko多级罗茨型干泵 真空泵 干泵

参考价: 订货量:
￥ 980000 1000台

具体成交价以合同协议为准
2023-04-11 13:23:23
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产品简介

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
ulvac-kiko多级罗茨型干泵 真空泵 干泵ES4A/ES10

详细介绍

ulvac-kiko多级罗茨型干泵 真空泵 干泵ES4A/ES10

ulvac-kiko多级罗茨型干泵 真空泵 干泵ES4A/ES10



通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

特点

  • 高温区域均热化

    实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。

    UR系列可比HR系列更加高温化。

  • 氦气密封

    通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

  • 瞬停对策

    采取了1000msec以内瞬停对策。

  • 出色的耐腐蚀性

    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

  • 通信功能

    可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

  • CVD装置

  • 蚀刻装置

  • 灰化装置

  • ALD、ALH 等

规格

型号UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
机械增压泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大

排气速度

50Hz410 m3/h

(6833 L/min)

653 m3/h

(10883 L/min)

1012 m3/h

(16867 L/min)

1701 m3/h

(28350 L/min)

2700 m3/h

(45000 L/min)

到达压力
5.0 Pa
最大排气压力（吸入圧力）大气压
最大排气口压力

（排出圧力）

1.0~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排气口VG50
NW40
NW50
质量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
电源 *2三相180～240 VAC/

380～440 VAC

(50/60 Hz)

200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180～240 VAC/

380～440 VAC

(50/60 Hz)

电流值稳定时23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)

20.5 A(at 400V)

39.8 A(at 200V)

20.5 A(at 400V)

最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)

40.5 A(at 400V)

68.3 A(at 200V)

40.5 A(at 400V)

冷却水一次压力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷却水出入口压差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷却水流量>5.0 L/min
吹扫气一次压力0.1~0.5 Mpa
二次压力0.05~0.1 Mpa
N2吹扫轴5 SLM
气镇0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM





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