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IoN 40 / M4L 射频等离子体去胶机 PVA TePla LED外延芯片设备
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经销商北京哲勤科技有限公司成立于2003年,是一家专业从事真空技术及相关仪器设备研制、开发、生产和贸易为一体的综合性企业。目前在北京、上海、广州设有办公室和备品备件库。
哲勤科技成立以来,即与国内外真空相关仪器设备生产厂商保持良好合作关系,是德国在线质谱公司(InProcess GmbH),德国普发拓普公司(PVA TePla AG),瑞士HSR公司重要合作伙伴,并与德国普发公司(PFEIFFER VACUUM GmbH),英福康公司,美国CVI公司,英国Edwards公司保持良好合作关系。
目前哲勤科技分为真空、质谱、等离子体三个部门。
真空部门主要为客户提供各种定制化的非标准真空仪器设备及代理销售各种真空泵、低温泵。
质谱部门主要提供源于原瑞士巴尔采司技术的全系列的四极质谱仪,包括真空残余气体分析仪、高级分析四极质谱仪、小型在线四级质谱仪工业离线和在线四极质谱仪以及实验室用四极质谱仪。
等离子体部门代理PVA TePla 公司各种等离子体设备,包括常压等离子体设备、射频等离子体设备、微波等离子体设备。
哲勤公司的产品已广泛应用于化工冶金、电子制造、光学器件、半导体、纳米科学、食品医疗、通用工业、科学研究等领域,
公司始终以客户的要求为准则,凭借专业的知识,丰富的经验,优良的产品,诚信的服务为用户提供高质量高标准的仪器设备和服务。
PVA-TePla 射频等离子体去胶机(*)
型号:IoN 40 (M4L 升级版)
典型应用:
去除光刻胶 Photo-resist Stripping
表面精密清洁 Surface Precision Cleaning
表面活化 Surface Modification
提高表面粘合性 Bond Strength Enhancements
改变表面亲水性/疏水性 Hydrophilic/Hydrophobic
分子接枝 Molecular Grafting
涂层 Plasma Deposited Coatings
规格参数:
13.56MHz风冷射频电源(0~600w可调,可选0~300W,0-1000W),
高灵敏快速自动匹配功能
阳极表面处理铝制腔体,
水平抽卸极板/垂直极板/侧壁极板/水冷极板,
不锈钢防腐蚀MFC,
多至6路气体,
兼容8英寸及以下晶圆
可选配法拉第桶
可选配压力控制系统
PC工控机控制,运行数据自动存储
触控屏图形化界面
外形尺寸:775×723×781 mm
认证:
CE 认证
EN 61010
EN 61326
Semi E95
USP Class VI
FDA CFR Title 21 Part 11
CISPR 55011
ISO 9001
NFPA79
NFPA70