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RPX-210, RPX-540 美国IST 原子层沉积表面改性设备 分子涂层 芯片系统
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经销商北京哲勤科技有限公司成立于2003年,是一家专业从事真空技术及相关仪器设备研制、开发、生产和贸易为一体的综合性企业。目前在北京、上海、广州设有办公室和备品备件库。
哲勤科技成立以来,即与国内外真空相关仪器设备生产厂商保持良好合作关系,是德国在线质谱公司(InProcess GmbH),德国普发拓普公司(PVA TePla AG),瑞士HSR公司重要合作伙伴,并与德国普发公司(PFEIFFER VACUUM GmbH),英福康公司,美国CVI公司,英国Edwards公司保持良好合作关系。
目前哲勤科技分为真空、质谱、等离子体三个部门。
真空部门主要为客户提供各种定制化的非标准真空仪器设备及代理销售各种真空泵、低温泵。
质谱部门主要提供源于原瑞士巴尔采司技术的全系列的四极质谱仪,包括真空残余气体分析仪、高级分析四极质谱仪、小型在线四级质谱仪工业离线和在线四极质谱仪以及实验室用四极质谱仪。
等离子体部门代理PVA TePla 公司各种等离子体设备,包括常压等离子体设备、射频等离子体设备、微波等离子体设备。
哲勤公司的产品已广泛应用于化工冶金、电子制造、光学器件、半导体、纳米科学、食品医疗、通用工业、科学研究等领域,
公司始终以客户的要求为准则,凭借专业的知识,丰富的经验,优良的产品,诚信的服务为用户提供高质量高标准的仪器设备和服务。
美国ist(integrated surface technologies)公司 repellix 原子沉积表面改性(亲水、超疏水、防水设备)
——美国ist公司为pva tepla的战略合作公司
型号:rpx-210, rpx-540, rpx-560
典型应用:
表面改性(微流控芯片管道表面改性)
mems表面抗粘合层(提高mems器件的抗摩擦性)
半导体制造和封装涂层
dna微阵列
生物兼容性改性
亲水 μ流体薄膜
疏水保护薄膜()
提高表面粘附性
无机氧化物原子沉积
控制:
pc精密控制,形成单分子层,可设置连续或交替进行。
灵活的控制系统,允许自行设计工艺,形成特色纳米结构。
同一设备更换不同单体可完成不同工艺。
优势:
灵活的工艺步骤
自然沉积,均匀性*
重复性好
低成本
适用大批量生产
配置:
腔体大小:317.5×243.84×254 mm
运行真空度:10 torr(100℃)
腔室温度:85℃
设备大小:1016×965.2×914.4 mm
回充气体:n2 或cda (5.5 bar)
pc控制
多达32,000可编程步骤