起订量:
PDC-HP 高功率扩展型等离子清洗机 清洗/消毒设备
First-Nano System GmbH
2003年 创立于德国德累斯顿工业大学(Dresden University of Technology)
2008年 香港成立德国韦氏纳米系统(香港)有限公司
2015年 上海成立德国韦氏纳米系统(香港)有限公司中国代表处,负责中国区业务
2018年 深圳正式成立韦氏纳米系统(深圳)有限公司,更好的为中国南方区市场
产品范围:
薄膜沉积/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蚀/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面处理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
Harrick Plasma 高功率扩展型等离子清洗机
与扩展型一样具有双倍的清洗速率,高功率扩展型等离子清洗机是一款多功能的工具,适用于刻蚀有机薄膜(10--100nm)以及表面活化改性。
Harrick PDC-HP高功率扩展型等离子清洗机
PDC-001-HP (115V); PDC-002-HP (230V)
主要特点:
紧凑台式设备、没有RF放射、符合CE安全标准。
功率为低、中、高三档可调。
低档功率相当于PDC-2 扩展型等离子清洗机的高档功率设置
清洗腔:长6.5英寸,直径6英寸的耐热玻璃腔体 , 腔盖可拆卸
带有视窗的铰链门
自动风扇冷却
集成真空泵开关
1/8NPT针孔阀控制气流及腔体压力;
整机尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D;
重量:37 lbs;
选配件
石英等离子清洗腔;
气体流量混合器;
真空泵;