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ITO无氧化烤箱,防氧化退火炉 工业烘箱
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生产厂家上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱,高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!
ITO无氧化烤箱,防氧化退火炉简介:
ITO薄膜是一种n型半导体材料,具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。ITO制备工艺中退火是非常重要的工艺步骤,对烤箱的温度、含氧量都有明确的要求。
ITO无氧化烤箱,防氧化退火炉的必要性:
1、在ITO中,Sn是以替位参杂的方式,取代In出现在In2O3晶格中,形成氧化铟锡置换固溶体随着退火温度的升高,峰强增强,ITO晶粒择优生长,晶粒尺寸随温度的上升而变大。
2、随着退火温度的升高,ITO薄膜的微观结构得到改善,表面形貌均一稳定,但当退火温度超过某一界*,ITO颗粒大小不一,形状各异,小颗粒团聚现象严重,薄膜的表面形貌遭到破坏。
3、薄膜电导率随退火温度的上升呈先上升后下降的变化。上升阶段,载流子浓度和迁移率共同影响电导率;下降阶段,迁移率的降低对电导率的减小起到主要作用。
ITO无氧化烤箱技术指标:
内腔尺寸:W600mm×D600mm×H600mm(可定做)
材质:SUS304不锈钢
温度范围:RT+10-450℃,使用温度≤400℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度:<±0.5℃
温度均匀度:≤±1.5%
洁净度:class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境
电源及总功率:AC 380V±10% / 50HZ 总功率约21.0KW
升温速度:8℃/min,(空箱测试)可自定义
降温速度:约3℃/min(空箱测试)可自定义
氧含量分析仪:≤ 100ppm
工作电压 | 380v |
工作室尺寸 | 500*600*800mm |
功率 | 15kw |
设备重量 | 550kg |
外形尺寸 | 1560mm |
温度范围 | 450℃ |
材质 | 304不锈钢 |
产地 | 国产 |
额定温度 | 高温烘箱(250-400℃) |
供货周期 | 25天 |
加工定制 | 是 |
送风方式 | 水平送风 |
外形 | 立式 |
温度波动度 | 1℃ |
用途 | 工业烘箱 |