PI真空固化烤箱,水冷却PI固化炉 工业烘箱

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PI真空固化烤箱,水冷却PI固化炉 工业烘箱

型号
参数
工作室尺寸:350mm 类型:恒温 适用范围:PI/BCB/半导体 温度范围:400℃
上海隽思实验仪器有限公司

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上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
    不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!





详细信息

PI真空固化烤箱,水冷却PI固化炉特点

PI固化炉用于光刻胶BCB,聚酰亚胺PI固化,晶圆干燥烘烤等工艺,主要用于集成电路、化合物半导体、MEMS微机电、TFT/LCD等半导体相关行业。


通用性,全自动运行真空固化,2寸-12寸/碎片兼容。

保证性强,可达5PPM氧气下实现真空固化。

时效性,多功能冷却方式,缩短了工艺时间,降低成本,提高生产能力。

能耗低,真空状态固化,节约了80%N₂量。

无污染,腔体内部所有材料均为316L医用级不锈钢,无任何颗粒产生。


PI真空固化烤箱,水冷却PI固化炉性能

温度:MAX400度

真空度:低于100Pa

操作:彩色人机界面,一键运行

冷却方式:水冷却+风冷

气路:1路N2

程序模式:程序运行10个,每个程序可设置25步

隔热材料:陶瓷纤维

工作腔:1/2/4/8可选

PI固化炉工艺流程要求(参考):

  1. 在低氧状态下使用

  2. 真空加热,升温至1xx℃

  3. 再温至1xx℃(约xh),保温约 30min;

  4. 继续升温至x00℃,视涂层厚度不同加热10-x0min

  5. 保温 约60min;

  6. 降温至100℃以下




无氧烘箱(BCB固化炉),真空无氧烘箱(PI固化炉),无尘烘箱,HMDS烘箱,硅烷蒸镀机,无尘无氧烘箱,氮气烘箱,鼓风真空烘箱,高精度热板,超低温试验箱,快温变试验箱,恒温恒湿试验箱,高低温冲击试验箱等设备,以及非标定制。---上海隽思仪器专业生产/服务

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产品参数

工作室尺寸 350mm
类型 恒温
适用范围 PI/BCB/半导体
温度范围 400℃
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