- ¥1001台起订
起订量：
Tergeo EM SEM扫描电镜等离子清洗机
- 型号
- Tergeo EM
- 参数
- 尺寸:内径110毫米
该企业相似产品
迈可诺公司全称“迈可诺技术有限公司”，英文简称“MYCRO”。这是一家富有创新精神的化高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，公司网址为 。 作为工业实验室市场领域的，迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务，帮助客户和合作伙伴取得成功。 迈可诺成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定，尊重他们的决定，并协助他们实现高效率的科研成果，追求丰富有意义的生活。
主营产品：匀胶机，旋涂仪，甩胶台，匀胶台，涂层机，涂胶机，涂膜机,旋转涂敷仪, HPC,PPC, PAC，SCE系列等离子清洗机， Cargille光学试剂，光刻机/曝光机，压力机, 压片机, 热压机，WABASH热压机, CARVER热压机,LAURELL匀胶机、HOT PLATE热板 烤胶机
Laurell匀胶机
Harrick等离子清洗机
Carver手动压片机
Uvitron紫外固化箱
Novascan紫外臭氧清洗机
Wenesco/EMS/Unitemp加热板
Kinematic程序剪切仪
Laurell EDC系统，湿站系统
NXQ光刻机
Anatech等离子系统
Wabash/Carver自动压片机
详细信息
1、控制系统
1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式。
2）程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤
2、反应腔体
1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱。
2）腔体尺寸：内径110毫米，外径120毫米，深度280毫米，壁厚：5毫米。
3）前观测窗：前方开口，5毫米厚石英玻璃可视窗口，可观测内腔等离子状态，并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置，有效保护操作的安全性；
3、射频电源
1）射频频率：13.56MHz
2）射频功率：标配0~75W；可选配0~150W。从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调，自动阻抗匹配。
3）射频输出可以工作在脉冲方式，脉冲比可以从1/255调到255/255（连续输出）。
4、等离子源
1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度。
2）电阻耦合电离方式。
3）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。
5、气体控制
1）气路控制：标配一路MFC；可选配三路MFC；
2）质量流量计可以在0~100sccm之间控制气体流量；
3）一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。
4）自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响。
5）高性能气压计可以测量1e-4 Torr到大气压之间的气压。
6）6mm气体接口。
6、真空系统
1）KF25法兰接口用来连接真空泵。
2）真空要求：抽速：>1.7m3/h；
3）低气压：<=200mTorr.
| 产品相关关键字： SEM扫描 SEM扫描电镜 电镜等离子清洁仪 远程等离子清洁仪 电子显微镜SEM |
