EM远程等离子清洁仪 等离子清洗机

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EM-KLEEN EM远程等离子清洁仪 等离子清洗机

型号
EM-KLEEN
参数
等离子源真空接口:NW/KF40 法兰
迈可诺技术有限公司

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光学试剂,匀胶机,等离子清洗机,热板,光刻机,压片机

 迈可诺公司全称“迈可诺技术有限公司”,英文简称“MYCRO”。这是一家富有创新精神的化高科技公司,专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商,公司网址为 。  作为工业实验室市场领域的,迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务,帮助客户和合作伙伴取得成功。  迈可诺成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定,尊重他们的决定,并协助他们实现高效率的科研成果,追求丰富有意义的生活。

主营产品:匀胶机,旋涂仪,甩胶台,匀胶台,涂层机,涂胶机,涂膜机,旋转涂敷仪, HPC,PPC, PAC,SCE系列等离子清洗机, Cargille光学试剂,光刻机/曝光机,压力机, 压片机, 热压机,WABASH热压机, CARVER热压机,LAURELL匀胶机、HOT PLATE热板 烤胶机
Laurell匀胶机
 Harrick等离子清洗机
 Carver手动压片机
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 Wenesco/EMS/Unitemp加热板
 Kinematic程序剪切仪
Laurell EDC系统,湿站系统
 NXQ光刻机
 Anatech等离子系统
 Wabash/Carver自动压片机

详细信息

技术特点:

快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵

低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合多级气体过滤技术,SEMI-KLEEN能够满足用户苛刻的颗粒污染清除要求

可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器,以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用

*的等离子强度传感器可实时监测等离子状态,用户对等离子状态一目了然

基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器,无需手动调节针阀

直观的触摸屏操作,可定义60条清洗程序方案

拥有智能安全操作模式和专家控制模式;SmartScheduleTM定时装置,通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统

 技术指标

1. 等离子源真空接口:NW/KF40 法兰; 提供转接法兰;

2. 标配等离子强度传感器;

3. 等离子源低点火起辉气压:<0.1毫托;

4. 等离子源Z高工作气压:>1.0 托;

5. 漏气率:<0.005sccm

6. 射频输出:0~100瓦,连续可调节;

7. 具有射频自动匹配功能

8. 电源和功率:220V, 50Hz,

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