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反射式EUV测试图案
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光学仪器组件,X射线仪器部件/操作系统
在专业、敬业、拼搏的理念指导下，不断进取学习，时刻关注科学领域的发展和创新，北京众星联恒科技有限公司致力于引进的EUV/SXR/X射线产品、及新孵化*产品给中国的同步辐射，研究所，高校及制造业的客户。 我司是德国INCOATEC公司、美国XOS（光学组件）、德国X-SPECTRUM、德国GREATEYES、德国Microworks、捷克ADVACAM、及英国MSI辉光放电质谱仪的中国区总代理，产品线包含X射线源、EUV/SXR/X射线光学元件、EUV/SXR/X射线探测器、X射线分析系统和辉光光放电质谱仪等。我司同时致力于给客户提供x射线解决方案，并于2016年推出了具有自主知识产权的桌面超快X射线诊断装置，具有超微、超亮、高信噪比和高稳定性的特点，在物质超快过程研究、精细分辨成像等方面具有重要的应用价值。 我们坚持以客户需求为导向，以专业、专注为根本，以高效服务为核心，紧密跟进学科的发展，努力从客户处学习并丰富完善自己的技术储备，解决客户的实际需求，以前沿技术驱动的创新获取公司发展的空间，逐步成长为优秀的X射线领域及的材料分析系统方案提供商。 我们敬畏知识不断进步所带来的变化和革新，坚信：高品质的产品及优质的服务是获得客户认可的标准！
详细信息
公司介绍：
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在范围内，通过与众多来自同步辐射科学，阿秒科学，高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作，积累了大量*的设计与制造技术，其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率，高聚光效率等特点，适合被各种辐射光设施使用。另外，分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究，在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片，XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助，对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上的帮助。
产品介绍：
· 反射型。
· 可提供图案：线宽和缝宽80 nm以下。其他图案还在研发中。
· 线上可以加工“缺口”，线之间可以加工“桥接”用于标记。
· 由于设计灵活，所以性能更高，成本也更低。
· 正在开发50 nm及以下的线缝和缝宽图案。在有限条件下，可以提供图案分辨率样本。
