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反射式EUV测试图案
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公司介绍:
NTT-AT有着多年的X射线、极紫外光学配件的研发与销售经验。在范围内,通过与众多来自同步辐射科学,阿秒科学,高强度物理学等领域的科学研究者开展紧密合作,积累了大量*的设计与制造技术,其产品在业内享有很高的评价。NTT-AT提供的菲涅尔波带片有着高分辨率,高聚光效率等特点,适合被各种辐射光设施使用。另外,分辨率测试卡被当作业界的标准。不只是学术研究,在X射线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片,XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助,对下一代的光刻研究也有这重要作用。NTT-AT将在XUV,EUV, X线领域给予客户在研发上的帮助。
产品介绍:
· 反射型。
· 可提供图案:线宽和缝宽80 nm以下。其他图案还在研发中。
· 线上可以加工“缺口”,线之间可以加工“桥接”用于标记。
· 由于设计灵活,所以性能更高,成本也更低。
· 正在开发50 nm及以下的线缝和缝宽图案。在有限条件下,可以提供图案分辨率样本。