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EUV/SXR准直,聚焦镜
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产品特点:
光学面材料:Au,Ni,Mo,etc...
*的复制技术
光谱范围:EUV(60-200eV)
SXR(200-2000eV)
j镜片形态:椭球镜,抛物面镜,也可根据需求定制其他非球面镜
典型表层粗糙度:Ra≈0.3-2nm
典型尺寸:直径(D)5-250mm;长度(L)10-100mm
2.MFO
MFO是一款应用于软X射线和EUV波段的光学器件,有两组相互垂直的极薄反射镜组成,光子通过掠入射角进行反射。MFO一般由玻璃,硅或金属等薄片组装而成。
可根据客户要求定制多种形状(如龙虾眼,Kirkptrick-Baez等)
产品特点:
光学面材料:Au,Ni,Mo,etc...
宽视场(max±60°)
薄片厚度:30μm-1mm
孔径:3x3mm-300x300mm
能量范围:50eV-10keV)
平面,椭圆,和一般非球面
玻璃、硅和金属
表层材料:Au, Ni, Mo, Pt, W...
1.基本参数:
Figure1: Geometry of an ellipsoidal mirror | Figure2: Geometry of a parabolic mirror |
Type | L | D1 | D2 | Z1 | Zd | Divergence |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mrad] | |
RE_08 | 50 | 6 | 10.5 | 72 | 1000 | 12 |
RE_09 | 100 | 56.6 | 70 | 45 | 300 | 450 |
RE_10 | 100 | 78 | 113 | 2450 | 2660 | 90 |
RO_001 | 68 | 11.6 | 14 | 145 | 270 | X |
Figure3: Parameters of standard mirrors
Figure4: Ellipsoidal mirror, Ni active surface, L=100mm | Figure4: Ellipsoidal mirror, Au active surface, L=80mm |
2.MFO
激光等离子体源, Xe和Kr EUV辐射的聚焦强度分布。 | MFO elliptical Kirkpatrick-Baez system. MFO椭圆K-B系统。 |