Bruker AFM Dimension Edge 显微镜

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亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、*封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。  目前亚科电子已与众多微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),为向客户提供*的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。   亚科电子目前客户遍及国内所有科研院所、高校和研发制造企业,已成功地服等各研究所;清华大学、北京大学、复旦大学等各大高校;三安集成、华润微电子等多个制造企业。   亚科电子历年来秉承“专业服务,全面服务”的宗旨,为客户提供整套技术工艺和设备方案。通过专业的技术服务,实现了真正意义上的交钥匙工程。高性能的设备和专业的技术服务是我们成功的基石,亚科电子期待与更多国内外客户的合作。

详细信息

【产品简介】
 

Dimension® Edge ™ 原子力显微镜采用,其仪器性能、测试功能和操作性在同类产品中处于。是 Dimension 系列中的闭环扫描原子力显微镜,的传感器设计显著地降低噪音和漂移,既获得了闭环的精度,又具有开环的噪音水平,在大样品台AFM上实现了小样品台AFM的成像性能。

 

【主要应用】
 
1、 主要用于材料纳米级表面形貌、粗糙度的测量,同时还可以测试纳米材料的表面机械性能、电学、磁学和电化学等物理特性等;
2、 广泛应用于半导体、纳米材料、通讯、生物学、数据储存、食品、化学、地质、能源、环境等领域。
 
【主要参数】

 

X-Y 方向扫描范围

90μm x 90μm(典型值),85μm(最小值)

Z 方向扫描范围

10μm(典型值), 9.5μm(最小值)

纵向噪音水平

<50pm RMS 值(在合适的环境,典型的成像带宽条件下 ( 可达 625Hz))

XY 方向闭环噪音水平

<0.15nm RMS 值(在典型的成像带宽条件下 ( 可达 625Hz))

XYZ 三方向的非线性

<0.5%(典型值)

样品尺寸和固定方式

150mm 直径,真空吸附,15mm 厚 ;

可选择垫块的情况下,可达 40mm 厚

150mm x 150mm 可观测区域; 可真空吸附, 可编程进行多区域扫描,可 360 旋转

 

光学系统及下针机制

5 百万像素数字摄像头;

180μm 至 1465μm 可视区域 ;

数字化缩放,马达驱动聚焦 ,单轴垂直下针,软件自动控制

信号输入输出

控制器内置可配置的信号输入 / 输出 ;

包括可定制的信号输入输出,数字化反馈和双数字化锁相放大器

单点谱线

三轴闭环控制可实现 point-and-shoot 式定位和谱线测量 ; 内置了热调谐方式的弹性常数校准功能 ;

温度控制

可选 -35 至 +250℃加热 / 冷却附件; 包括气体充换功能;

 

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