Bruker AFM Dimension FastScan 显微镜

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表面处理仪 X射线衍射仪
亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、*封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。  目前亚科电子已与众多微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),为向客户提供*的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。   亚科电子目前客户遍及国内所有科研院所、高校和研发制造企业,已成功地服等各研究所;清华大学、北京大学、复旦大学等各大高校;三安集成、华润微电子等多个制造企业。   亚科电子历年来秉承“专业服务,全面服务”的宗旨,为客户提供整套技术工艺和设备方案。通过专业的技术服务,实现了真正意义上的交钥匙工程。高性能的设备和专业的技术服务是我们成功的基石,亚科电子期待与更多国内外客户的合作。

详细信息

【产品简介】

Dimension®FastScan ™是布鲁克公司基于世界上使用最多的原子力显微镜平台的一个技术创新。快速扫描系统与超稳定,低噪音平台相结合,无论是超低噪声,高精度扫描,还是高速率的扫描, 均使得该系统超过您实验室购买的任何单一设备,实现真正的物超所值。为满足原子力显微镜使用者对提高使用效率的需求,这套快速扫描系统,在不降低分辨率,不增加设备复杂性,不影响仪器操作成本的前提下,帮助用户实现了即时快速得到高分辨高质量图像的愿望。FastScan ™这一变革性技术重新定义了原子力显微镜的新高度。

 

【主要应用】
 
1、 主要用于材料纳米级表面形貌、粗糙度的测量,同时还可以测试纳米材料的表面机械性能、电学、磁学和电化学等物理特性等;
2、 广泛应用于半导体、纳米材料、通讯、生物学、数据储存、食品、化学、地质、能源、环境等领域。
 
【主要参数】
 

 

Icon AFM 扫描管

FastScan AFM 扫描管

 XY 方向扫描范围

90μm x 90μm(典型值),85μm(最小值)

35μm x 35μm(典型值), 30μm 最小值)

 Z 方向扫描范围

10μm(典型值),9.5μm(最小值)

≥ 3μm

 纵向噪音水平

<30pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽可达 625Hz)

<40pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽可达 625Hz)

 X-Y 针尖速度

 (1% 轨迹误差 )

 

>2mm/S

 Z 针尖速度

 

12mm/S

 XY 方向闭环噪音水平

≤ 0.15nm RMS 值(典型的成像带宽条件可达 625Hz)

≤ 0.20nm RMS(典型的成像带宽条件可达 2.5KHz)

 Z方向闭环噪音水平

35pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽可达 625Hz);50pm RMS 值,力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz)

30pm RMS (在合适的环境下,典型的成像带宽可达 625Hz)

XY 方向平坦度(30μm 范围)

 

≤ 3nm

XYZ 方向的非线性参数

<0.5%

<0.5%

样品尺寸和固定方式

210mm 直径,真空吸附,≤ 15mm 厚

210mm 直径,真空吸附,≤ 15mm 厚

180mm × 150mm 可 观 测 区 域; 单 向

2μm 重复性;双向 3μm 重复性

180mm × 150mm 可 观 测 区 域; 单 向

2μm 重复性;双向 3μm 重复性

 

光学系统

5 百 万 像 素 数 字 摄 像 头;180μm 至

1465μm 可视区域 ; 数字化缩放,马达驱动聚焦

5 百 万 像 素 数 字 摄 像 头;130μm 至

1040μm 可视区域 ; 数字化缩放,马达驱动聚焦

控制器

NanoScope V

NanoScope V

震动隔离

可选防震平台或隔音防震平台,气动式

可选防震平台或隔音防震平台,气动式

 

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