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EA8000 异物影像及元素混合型分析系统
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项目 | 描述 |
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异物检测下限 | 最小20μm |
异物扫描时间 | 250mm×200mm尺寸约3~10分钟 |
异物元素分析时间 | 每点分析约1~4分钟 |
测定元素范围 | 镁(Mg12)~铀(U92) |
样品型态 | 固体、粉体 |
样品尺寸 | W250 x D200mm |
荧光X射线源 | 空气冷却X射线管球 管电压:45kV 管电流:900µA |
荧光X射线照射方式 | 上照式 |
荧光X射线照射径 | ψ30μm |
检测器 | 硅半导体多阴极检测器(无须液态氮冷却) |
显像用X射线源 | 水冷却X射线管球 |
显像用X射线检测器 | 空气冷却高分辨率CCD |
样品观察 | 高解析显微镜与彩色CCD镜头 |
仪器控制 | 桌面计算机与19" TFT屏幕 |
全自动异物查找 | 全自动提供样品X光影像、异物检测、异物自动元素判定 |
异物尺寸量测 | 以样品X光影像投影面积自动进行异物尺寸计算 |
报告输出 | MS-Word及MS-Excel |
安全锁 | 测试时自动上锁保护、防止样品撞击侦测、仪器自动诊断 |
设置需求 | 单相AC200V~240±10%, 20A |
选配 | 冷却水循环装置、信号塔 |
仪器自身尺寸 | 1340(宽) x 1000(深) x 1550(高) |