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S-1200S-CVD 混合气体化学气相沉积CVD系统
- 型号
- S-1200S-CVD
真空马弗炉
河南热处理设备有限公司是一家专业从事热处理产品的研发、生产、制造、销售、服务于一体的。公司产品涵盖箱式炉、高温管式炉、气氛炉、箱式马弗炉、CVD系统、PECVD设备、牙科炉、升降炉、真空炉、定制炉型等，广泛用于粉末冶金、真空钎焊、陶瓷烧结、新能源材料研发、金属光亮处理、零部件退火、科学研究等多个领域。多年来公司坚持以客户需求为导向，致力于不断提高产品品质和完善技术服务,凭借过硬的技术、丰富的实践积累，先后研发出了一系列具有水准的实验电炉和工业炉。电炉拥有完整、科学的质量管理体系，标准化的生产制造车间，具有年产1000台电炉生产制造能力，生产规模位居，是国内具有影响力的实验电炉、工业炉生产制造商。公司目前有一线员工百余人，多名专业热工技术工程师和设计制造工程师， 并联合多所重点科研院校共同建立了多个技术研发项目，为每一位客户提供高技术含量的产品解决方案和优质的服务是电炉所有人的神圣职责！
详细信息
功能特点：
由高温管式炉，真空压强控制系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，过压保护及冷凝等部分组成，可实现真空达0.1mbar混合气体化学气相沉积和扩散试验。
产品用途：
适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用
产品参数
由高温管式炉，真空压强控制系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，过压保护及冷凝等部分组成，可实现真空达0.1mbar混合气体化学气相沉积和扩散试验。
产品用途：
适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用
产品参数
- 机器电源：AC220V，50/60Hz；
- 额定功率4kw
- 炉管：高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热的温度变化；
- 炉管尺寸：Φ80*/1000mm
- 加热元件：0Cr27Al7Mo2
- 加热区长度：400mm(可定制)
- 恒温区长度：200mm(可定制)
- 工作温度：≤1150℃
- 升温速率：≤10℃/min
- 温控系统：温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能、30段升降温程序
- 测温元件：N型热电偶
- 恒温精度：±1℃
- 保护及提醒：超温、断偶故障警报及断电保护、高精度质量流量计通过数据接口连接电脑，配置软件实时人机交互界面
- 混气系统：四通道质量流量控制，可同时通入四种不同气体、内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀、每路气体进气管路配有不锈钢针阀
- 流量规格：0~30SLM
- 控制精度：±1.0％F.S
- 极限真空：6.0×10-5Pa
- 工作真空：7.6×10-4Pa
- 冷凝系统：采用低温恒温槽，温度可达-20℃、内置不锈钢真空冷凝灌，采用KF接头，清理收集方便、槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验
