CVD浮子混气系统

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S-1700S-CVD CVD浮子混气系统

型号
S-1700S-CVD

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河南热处理设备有限公司是一家专业从事热处理产品的研发、生产、制造、销售、服务于一体的。公司产品涵盖箱式炉、高温管式炉、气氛炉、箱式马弗炉、CVD系统、PECVD设备、牙科炉、升降炉、真空炉、定制炉型等,广泛用于粉末冶金、真空钎焊、陶瓷烧结、新能源材料研发、金属光亮处理、零部件退火、科学研究等多个领域。多年来公司坚持以客户需求为导向,致力于不断提高产品品质和完善技术服务,凭借过硬的技术、丰富的实践积累,先后研发出了一系列具有水准的实验电炉和工业炉。电炉拥有完整、科学的质量管理体系,标准化的生产制造车间,具有年产1000台电炉生产制造能力,生产规模位居,是国内具有影响力的实验电炉、工业炉生产制造商。公司目前有一线员工百余人,多名专业热工技术工程师和设计制造工程师, 并联合多所重点科研院校共同建立了多个技术研发项目,为每一位客户提供高技术含量的产品解决方案和优质的服务是电炉所有人的神圣职责!

详细信息

功能特点:
1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,真空可达0.0001Pa;
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制;
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。
4、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;管路采用世界Swagelok卡套连接,不漏气;
5、超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠。
产品用途:
适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用
产品参数
  • 电压:AC220V 50/60Hz
  • 功率:6KW
  • 炉管:采用99氧化铝刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂
  • 炉管尺寸:Φ40/60/80*/1000mm(可定制)
  • 炉管配件:4个氧化铝管堵
  • 加热元件:6根U型硅钼棒
  • 加热区长度:400mm(可定制)
  • 恒温区长度:200mm(可定制)
  • 工作温度:≤1600℃
  • 温度:1650℃
  • 升温速率:≤10℃/min
  • 温控系统:温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能、50段升降温程序
  • 测温元件:B型双铂铑热电偶
  • 恒温精度:±1℃
  • 流量规格:0.3~3L/min
  • 控制精度:±5%
  • 极限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 测温元件:B型双铂铑热电偶
  • 尺寸:高温炉:660*580*910mm、混气移动工作台:800*540*720mm
  • 可选配件:HQZ混气系统,中、高真空系统,各种刚玉坩埚,刚玉管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机等。

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