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复合氧化物氢分离膜制备用CVD设备 实验室臭氧发生机
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主要特点
复合氧化物氢分离膜制备用CVD设备,可以实现在多孔氧化铝陶瓷管和陶瓷片上化学沉积上氧化物(SiO2、Al2O3、TiO2、ZrO2)和复合氧化物(Al2O3-SiO2、SiO2-TiO2、SiO2- ZrO2)氢分离膜。
设备结构
1) 主体加热为三段加热系统,Z高使用温度为1000℃;
2) 3个液态源加热蒸发鼓泡器,Z高温度300℃,独立控温。
3) 3路进气系统,分别为氮气、氩气和氢气,皆可直接进入混气室载进入真空腔体,且流量分别可控,流量计控制精度为±1.5%F.S。另外氮气作为吹扫气,分别通过流量计并列进入三个液态源后再进入混气室,三路均配有单独阀门控制。
4) 陶瓷盲管长620mm,外径12mm,内径9mm。距离开口端250mm至350mm处,为孔径0.2μm的沉积段,其余管外壁已釉封;
5) 陶瓷管开端在石英管一侧固定并进行陶瓷管的内外密封(见示意图1)。需要固定时间间隔,从陶瓷管内进行抽气,满足透出载气的气袋收集和流量检测两种功能,并实现两种功能间的切换。
6) 陶瓷片样品直径30mm,厚度3mm。3个样品台,每个样品台上可同时放置3片陶瓷片样品。
7) 设备空间尽量小。
8) 后端真空连接系统.
技术参数
炉体架构 | 上下开启式 |
额定功率 | 7KW |
额定电压 | AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz |
Z高温度 | 1000°C |
持续工作温度 | ≤900°C |
推荐升温速率 | 0-20 ℃/min |
炉管材质 | 310S钢管 |
炉管尺寸 | 异形钢管Φ80*1200mm+Φ25mm |
保温装置 | 炉管两端配有保温水冷法兰装置,便于取放 |
加热区长度加热区长度 | 200+200+200mm |
恒温区长度 | 400mm |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
炉膛材质 | 氧化铝纤维 |