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OWT-100无接触厚度测试仪
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产品简介
OWT-100采用PHYS技术,对透明、半透明材料的厚度、TTV进行无接 触测量,其对
透明、半透明材料的高精度精确测量的性价比在同类测试仪器中是的。
产品特征
■无接触无损伤测量
■高精确度及重复性
■测量材料范围广,透明、半透明、不透明几乎所有材料的厚度、TTV
■抗干扰强,稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便,系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
■ 超高测试速度
技术指标
■测试尺寸:50mm-200mm.
■厚度测试范围:1000 um,可扩展到1700 um
■厚度测试精度:+/-0.1um
■厚度重复性精度:0.050um
■TTV 测试精度: +/-0.05um
■TTV重复性精度: 0.050um
■测量时间: <1秒
■材料:透明、半透明材料
■尺寸: 560X650X400mm
■电源:220V 50HZ 300W
典型客户:
蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等