平整度测试系统:OWT-200

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平整度测试系统:OWT-200

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北京合能阳光新能源技术有限公司

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检测仪器和产业耗材

 


北京合能阳光新能源技术有限公司(以下简称“合能阳光”)总部位于北京通州工业开发区,公司主导产品涉及半导体及光伏行业的检测仪器、工艺和耗材领域,是集研发、生产、销售、服务及对外投资于一体的综合性高科技公司。

公司所服务的客户来自于国内企业,如赛维LDK、保利协鑫、比亚迪、中电集团、亿晶光电、旭阳雷迪、锦州阳光、Ferro申和热磁、国泰半导体、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龙集团、Pro-Q、光为、国电集团、京运通、七星华创、新天源、超日、*、中国表面物理与化学研究、成都光电、包头山晟……等几百家半导体和太阳能单位。

公司现有员工34人,大专本科以上学历25人,研究生6人,博士1人,建筑面积3000m2。

近年来,公司的海外市场发展势头良好,产品出口到美国、欧洲、韩国、新加坡等国家地区,目前公司在和海外同行建立产品加工合作关系的同时还建立自己的代理商和销售中心。

 

 

详细信息

                

 

 

产品简介:

    OWT-200平整度测试系统,采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征,在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等,可在线和离线测量。

 

产品特点:
 厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量;
 无接触测量;
 无需校准;
 高精度、高重复性;
 样品台可选:4寸、6寸、8寸;
 强大的分析软件,可显示3D表面形貌;
 同时进行各种参数的测量,具备超高的测试速度;

 

技术参数:
 TTV
     精确度:±0.1um
     重复性精度:0.01um

 厚度
     精确度:±0.2um
     重复性精度:0.1um
     测试范围:50-2000um

 翘曲度/弯曲度
     精确度:0.5um
     重复性精度:0.2um
     测试范围:200um

 整机参数
     测量时间:<100秒
     测量尺寸:8寸
     尺寸:550*602*291mm
     整机功率:800W

 

典型客户:
蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等。

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