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平整度测试系统:OWT-200
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产品简介:
OWT-200平整度测试系统,采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征,在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等,可在线和离线测量。
产品特点:
■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量;
■无接触测量;
■无需校准;
■高精度、高重复性;
■样品台可选:4寸、6寸、8寸;
■强大的分析软件,可显示3D表面形貌;
■同时进行各种参数的测量,具备超高的测试速度;
技术参数:
■TTV
■精确度:±0.1um
■重复性精度:0.01um■厚度
■精确度:±0.2um
■重复性精度:0.1um
■测试范围:50-2000um■翘曲度/弯曲度
■精确度:0.5um
■重复性精度:0.2um
■测试范围:200um■整机参数
■测量时间:<100秒
■测量尺寸:8寸
■尺寸:550*602*291mm
■整机功率:800W
典型客户:
蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等。