全自动Slug腐蚀机

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全自动Slug腐蚀机

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北京华林嘉业科技有限公司

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全自动清洗机,炉管清洗机,钟罩清洗机,硅片清洗机,CDS自动供液系统,SiC清洗机,SC-1清洗机,cassette清洗机,SPM清洗机,RCA清洗机,BOE清洗机,实验台,通风橱,药品柜。

北京华林嘉业科技有限公司(简称CGB),总部坐落于北京行政副中心。 2016年公司在河北经济开发区机器人产业园区投资亿元设立全资子公司,我们的
目标是建立一座现代化花园式工厂。
CGB主要从事半导体、平板显示、太阳能光伏领域湿法制程设备的研发、生产与销售。 产品性能处于国内行业*地位,并逐渐接近行业*水平。
2008年通过了ISO9001: 2000质量体系认证 。严格按照质量管理体系标准,对研发、生产、服务进行*、全过程管理。 公司注重持续创新和技术改
进。目前已成功申请十几项国家科研发明。 2013年顺利通过国家*认定。依托本地化的制造基础和便捷服务、化的经营理念和人才团队、*
的工艺 试验条件和畅通的零部件供应渠道,使CGB核心竞争力不断加强。
展望未来, CGB将始终以“高起点、高目标、高要求、高品质”为产品技术理念,持续进行以客户为导向的创新,以高品质的设备、*竞争力的价格以
及*的服务赢得国内外用户更广泛的信赖。我们愿与客户共同成长,共同发展,为推动中国半导体、太阳能光伏和平板显示产业的进步做出贡献。

详细信息

产品详情:

项目

说明

机台数量

1台(套);

机台重量

XX

清洗能力(采购方提供cassette样品)

8(12)inch   1 cassette / Batch     25 Pcs/cassette; 片盒采购方提供;

产能要求

湿法制程清洗工艺XXXX    Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小时/天,26天/月计算,预估值);

设备形式(洁净度:千级洁净室)

室内放置型;  

j机台封面、主要结构材质

聚丙烯PP 10T(√);

阻燃聚丙烯PP 10T ();

米黄色聚氯乙烯PVC 10T ();

SUS304单镜面板材1.5T();   

机台视窗

材质

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T (√);

SUS304单镜面板材及钢化玻璃   5T(); 

模式

上下举升式();

单(双)门对开式(√);

左右推拉式();

机台主机强度结构

整体SUS304不锈钢结构骨架;

防漏盘

材质

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分体式  每侧尺寸比设备本体长50mm;

漏液检测装置

材质

防腐材质;

点式

单点式;

其它

水平调整

通过地脚调整设备水平;

设备移动

设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

台面板

材质

¢12mm左右洞洞结构   聚丙烯磁白PP板材(√);

¢12mm左右洞洞结构   SUS304单镜面板材();

相邻槽之间须有接水板,接水板须倾斜放置,用以盛接花篮经过时漏液();

模式

可拆式(√);

一体式();

排风系统

排风口位置

设备后顶部(√);

设备后下部();

设备后部();

排风通道结构

1) 排风强劲合理设计,为了排风效果达到,排风通道内设有风量导流板;

2) 为了方便操作人员根据情况及时调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到使用效果;

3) 设备排风通道的底部带排液管,冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内;

机台的电控系统

安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。


规格特点:

01)工艺说明: 自动传动,自动方式实现槽体间传送工件,手臂按照菜单选择流程作业,生产部人员选取菜单进行作业,这个过程全自动进行;
02)全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;
03)搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;
04)搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全;
05)溢流工艺的应用,保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度;
06)工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;多工艺数据库,可供用户使用和存储;
07)整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等,需润滑的零件必须密封处理;
08)整机采用PLC控制,触摸屏显示,清洗槽定温控制,过温保护及超(兆)声低液位保护;
09)整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便;
10)整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;
11)机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮,设备两端各一个),并按照标准设置接地保护断路器;
12)整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,处设有漏液报警,前后区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;
13)清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;
14)设计合理化的排风管路,使酸碱液挥发气体的污染最小化;
15)设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部;
16)工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式,需采用四面溢流;如果无法实现,至少需要三面溢流;
17)搬运机械手抓驱动部分为电机马达驱动完成动作并配有传感器实时监测,抓取部位设有防压框传感器,检测抓取成功与否;
18)搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置(光电传感器、机械传感器、机械装置等),以保护操作人员安全;
19)  设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口;
20)  机台上料下料区各配水***2把;
21)机台排风口处安装排风压力监测装置(带信号报警装置);
22)机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);
23)工艺槽槽底倾斜式,便于排空;

 

 

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