半导体洁净室气体分析监测系统介绍：

        醋酸、草酸 、胺类、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、邻苯二甲酸二辛酯（DOP）、邻苯二甲酸二丁酯（DBP）、邻苯二甲酸二乙酯（DEP）、异丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有机物

空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。

        无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

半导体洁净室气体分析监测系统亮点

一般特点

在线连续质量监测全部自动化系统

低浓度VOC监测

独立分开测量有机物成份

Sub-ppb检测限

集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能。

工作原理

        GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术，这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。

当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化，从而确定不同组份的浓度，*的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。