- 面议
参考价：
起订量：
猎户座 3100S 空气分子污染物监测系统
- 型号
- 猎户座 3100S
- 参数
- 产地:国产
该企业相似产品
主营：温室气体分析,傅立叶红外气体分析,AMC空气分子污染物，溶解氧分析仪，碳化及氮化装置，脱氧脱气脱醇装置，浓密度计，光谱色谱仪，杀菌消毒净化装置，搅拌混合加药装置等产品
北京杜克泰克科技有限公司，是一家专注于工业气体分析、工业过程控制、矿业勘察的科技公司，致力于为环境保护、能源电力、石油化工、冶金矿业、天然气、生物制药等行业提供工业过程参数测量仪器和解决方案。自公司成立以来一直给客户提供优质的产品，用的团队为客户服务，以良好的信誉赢得了客户的支持。
详细信息
猎户座3100系统：完善的空气分子污染物监测系统
实时监测空气分子污染（AMC ）对于半导体生产过程极为重要。
快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸类等浓度测量，当这些气体与化学放大光刻胶反生反应 时，将深深的影响半导体器件质量。
传统古老的方法多采用间接测量分析方法。包括撞击滤尘器、离子色谱、化学荧光法，这些方法分析速度太慢，操作过程太复杂，昂贵并且测量结果不精确。
CEAS （腔增强吸收光谱）---原理
基于CEAS（腔增强吸收光谱）技术的仪器原理图，使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测量，测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成，激光束经过固态校准器（FSR=2.00GHz）时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度，忽略了原本照射到左侧测量单元腔镜外的光束。
