设备简介：

　　小型电阻蒸发镀膜仪，主要特点是设备体积小，结构简单紧凑易于操作，也可整机放置于手套箱内，对实验室供电要求低;该系列设备主要部件采用进口或者国内的配置，从而提高设备的稳定性;另外自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。

　　目前该设备配2组无机电阻蒸发源，一台2000W直流蒸发电源，主要用来开发纳米级单层及多层的金属导电膜、有机薄膜等。

　　主要技术参数

　　1、腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接;

　　2、样品台尺寸：可拆卸式，尺寸Ф100mm，旋转：0-20r/min可调;

　　3、真空系统：机械泵(TRP-12,3L/s)+分子泵(Hipace80,67L/s)(可选);GDC-25b电磁挡板阀;

　　4、极限真空：8.0×10-5Pa;

　　5、真空抽速：大气～8×10-4Pa ≤ 40min;

　　6、真空测量：复合全量程真空计测量范围：105Pa～10-1Pa;

　　7、蒸发源：2组电阻蒸发源，2组间可切换，源间有防污板;

　　8、蒸发电源：直流蒸发电源1台，0 W～2000W连续可调，供2组蒸发源切换使用;

　　9、控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能;

　　10、设备外形：L51.7cm×W53.6cm×H74.5cm机电一体化机架，预留1个KF40和一个CF35法兰接口;

　　11、设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制(一火一零一地);

　　12、冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水(可选)。

　　13、膜厚仪一台。

　　设备主要优势

　　1、实用性：设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换，实现一机多用;

　　2、方便性：设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接线及安装调试简单，既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性;

　　3、高性价比：设备主要零部件采用进口或国内品牌，以国产设备的价格拥有进口设备的配置，从而保证了设备的质量及性能;

　　4、安全性：独立开发的PLC+触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能，保证了设备的使用安全性能;

　　5、灵活性：设备可整机(除机械泵外)放置于手套箱内，也可单独放在实验桌上，省去与手套箱对接接口等问题，灵活方便。