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日本shinkuu φ300mm Pt 镀膜机MSP-12in
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配备兼容 12 英寸晶圆的大面积样品台。使用磁控管方法,当涂层电压为 500V 或更低时,可减少离子损伤。
从脱气到大气气体引入和涂层的全自动操作,具有自动涂层功能。
配备前滑动式样品台,可轻松放入和取出样品。如果安装 Ag 靶材,则可以轻松进行透明薄膜等光泽处理。
MSP-12in
靶材的直径为 12 英寸(直径 300 毫米),均匀地覆盖整个 12 英寸晶圆。它适用于大面积涂层和大量样品的涂层。
MSP-12S
靶电极的 尺寸为直径 50 mm。当您想要对大面积样品(例如 12 英寸晶圆)的一部分进行镀膜时,可移动靶非常有用。通过缩小电极尺寸可以降低运行成本。此外,无需破碎大晶片。
日本shinkuu φ300mm Pt 镀膜机MSP-12in
主要产品规格
物品 | 规格 |
电源 | 单相AC100V15A 3芯插头带地线 |
设备尺寸 | 宽 450 毫米,深 440 毫米,高 427 毫米 (设备重量 30 公斤) |
旋转泵 | G-101D 宽 234 mm,深 500 mm,高 264 mm 重量 25 kg |
涂装室尺寸 | 内径 330 毫米,高度 80 毫米 |
目标电极尺寸 | 直径300mm |
样品台 | 直径300mm |