多功能快速退火炉

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多功能快速退火炉

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该企业相似产品

ALD设备,PECVD设备

公司名称(现用名):北京维意真空技术应用有限责任公司
公司名称(曾用名):北京科立方真空技术应用有限公司
覆盖区域:北京天津河北

    北京维意真空技术应用有限责任公司,原名北京科立方真空技术应用有限公司,创立于2013年,位于中国·首都北京密云经济技术开发区,主体经营分为真空配件销售真空设备定制浅蓝纳米科技三个部分,是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的专业性的公司,公司拥有一支专业、优秀的产品技术工程师和维修技术工程师,具有丰富的行业经验同时还与北京工业大学联合研发等离子体增强化学气相沉积系统,与北京交通大学联合研发原子层沉积系统,满足高校、研究所的教学、科研使用,同时减少相关进口设备的*,并力争创造外汇,打出中国创造的!  

    我们的客户遍布北京各高校研究院所、电力试验所、各级的材料、物理、化学、纳米等研究领域*的实验室,期待您就是我们的下一位客户、朋友!

    您的满意微笑是我们一直努力追求经营目标

技术创新、业务专业、服务诚信是我们一直遵循的经营理念!

 

我们热诚欢迎国内外*的仪器制造商及科学工作者与我们联系开展各层面的合作,打造成*的真空系统产品、等离子体增强化学气相沉积系统和原子层沉积系统供应商。

详细信息

  快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鉴了制造工艺,在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。

  应用领域

  Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火

  Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

  Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

  Ø 硅化 (Silicidation);

  Ø 扩散 (Diffusion);

  Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

  Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

  Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

  主要特点

  Ø 极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;

  Ø 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

  Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格(选配);

  技术参数:

产品名称

RTP快速升温炉

产品型号

RTP1100

额定温度

1100℃

温场均匀性

±2℃

炉膛升温速率

≥100℃/S

降温速率

≥100℃/S

操控系统

智能AIO操作系统

操作界面

7英寸触摸屏

加热方式

短波红外线加热

加热腔体结构

双层石英管

外管直径

100mm

内管直径

80mm

气体保护方式

外管进气,内管出气

超温保护

温度出现过高时切断主回路

式样有效空间

70*100mm

真空系统

8L/S双级联真空系统(选配)

整机真空度

3Pa

真空启动方式

根据程序设置自动启停

抽气端口尺寸

KF16

供气口尺寸

1/4英寸双卡套

法兰冷却方式

水冷(短时间无需水冷)(可选配水冷机)

真空显示

真空压力表(可选配数显真空计)

上位机操控

基于安卓系统APP(选配)

数据导出方式

APP导出Excel表格(选配)

额定功率

12kw

外形尺寸

950*500*560mm

重量

50kg

配件

管堵2支,法兰水冷套1支,耐温手套1双,坩埚钳1把,说明书1本。

 

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