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小型快速退火炉
公司名称(现用名):北京维意真空技术应用有限责任公司
公司名称(曾用名):北京科立方真空技术应用有限公司
覆盖区域:北京、天津、河北
北京维意真空技术应用有限责任公司,原名北京科立方真空技术应用有限公司,创立于2013年,位于中国·首都北京密云经济技术开发区,主体经营分为真空配件销售、真空设备定制、浅蓝纳米科技三个部分,是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的专业性的公司,公司拥有一支专业、优秀的产品技术工程师和维修技术工程师,具有丰富的行业经验,同时还与北京工业大学联合研发等离子体增强化学气相沉积系统,与北京交通大学联合研发原子层沉积系统,满足高校、研究所的教学、科研使用,同时减少相关进口设备的*,并力争创造外汇,打出中国创造的!
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您的满意微笑是我们一直努力追求的经营目标!
技术创新、业务专业、服务诚信是我们一直遵循的经营理念!
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此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和的加热方式与一体,使得体积和功率都大幅减小的同时,升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空,满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。
应用范围:
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 扩散 (Diffusion);
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点:
Ø 极速升温20℃/S,极速降温20℃/S;
Ø 控温稳定,恒温精度≤1℃
Ø 体积小巧,使用功率只有1kw;
Ø 超高光线反射效率,无需炉膛保温;
技术参数:
产品名称 | mini快速退火炉 |
产品型号 | RTP1000S |
极限温度 | 1000℃ |
额定温度 | 1000℃ |
控温精度 | ±1℃ |
升温速率 | 20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S) |
降温速率 | 随炉冷却75℃/min 物料台拉出降温800℃/min |
控制方式 | 智能PID |
加热方式 | 短波红外线加热 |
加热腔体结构 | 石英管 |
样品冷却 | 自然冷却或通入冷却气体 |
冷却气体调节 | 浮子流量计(100~1000ml/min)(选配) |
超温保护 | 温度出现过高时切断主回路 |
恒温区尺寸 | 35mm |
载料体尺寸 | 30*25mm |
传感器类型 | K型 |
真空系统 | 1L/S 双级联真空系统 CHY-4C(选配) |
整机真空度 | 3Pa(选配CHY-4C真空泵) |
抽气端口尺寸 | KF16 |
供气口尺寸 | 1/4英寸双卡套 |
额定功率 | 1.5kw |
额定电压 | AC220V,50Hz |
重量 | 15kg |
配件 | 坩埚钳1把,说明书1本。 |
外形尺寸 | 610x400x410(长*宽*高) |