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等离子清洗机 PDC610
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柜谷科技发展（上海）有限公司专注于为科研工作者和质量控制人员提供一站式实验室产品与配套服务，致力于成为科学服务领域的者与变革者。公司通过自主研发、品牌运营、品牌代理、实验室设计规划方案等方式为生物医药、新材料、新能源、化工化学、精细化工、食品日化、分析检测等领域的实验室提供的综合服务，覆盖客户的研发准备、研发过程、研发后期、生产质控等各个阶段，提供“一站式”有竞争力的产品和服务，是国内的科学服务提供商。
详细信息
小型、多段式等离子清洗机
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 灰化、蚀刻处理
● 塑料封装前处理
● 印刷基板镀层前处理
● LED关联部品处理
● 电子部品清洗
● 光刻胶剥离或表面残留物去除
● 光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
● FCC对应
特征
● 600W的小型高输出功率
● 电极可选择1·2·3段（采购时）
● 可处理纵型的试料收纳盒
● 可选择RIE/DP模式（采购时）
● 数据记录器（选配）
● 适配点记忆功能（选配）
规格
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 灰化、蚀刻处理
● 塑料封装前处理
● 印刷基板镀层前处理
● LED关联部品处理
● 电子部品清洗
● 光刻胶剥离或表面残留物去除
● 光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
● FCC对应
特征
● 600W的小型高输出功率
● 电极可选择1·2·3段（采购时）
● 可处理纵型的试料收纳盒
● 可选择RIE/DP模式（采购时）
● 数据记录器（选配）
● 适配点记忆功能（选配）
规格
| 型号 | PDC610 |
| 等离子模式 | RIE/DP（固定模式） |
| 电极构造 | 3段独立平行平板（固定） |
| 高频输出 | Max600W |
| 频率 | 13.56MHz |
| 控制·显示方式 | PLC·触摸屏 |
| 反应腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
| 反应腔材质 | A5052 |
| 反应气体 | 2系统（Ar、O2） |
| 填充气体 | N2或干燥空气 |
| 真空泵 | 油泵（约345L/分）·标配 |
| 外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
| 外装材质 | 不锈钢 |
| 电源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A |
