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等离子清洗机 YSP600U/2KU
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柜谷科技发展（上海）有限公司专注于为科研工作者和质量控制人员提供一站式实验室产品与配套服务，致力于成为科学服务领域的者与变革者。公司通过自主研发、品牌运营、品牌代理、实验室设计规划方案等方式为生物医药、新材料、新能源、化工化学、精细化工、食品日化、分析检测等领域的实验室提供的综合服务，覆盖客户的研发准备、研发过程、研发后期、生产质控等各个阶段，提供“一站式”有竞争力的产品和服务，是国内的科学服务提供商。
详细信息
样品传输系统为模块式，便于组合
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
特点
● 体积小，节省空间。
● 选用小型腔体，反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。
内槽
技术规格
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
特点
● 体积小，节省空间。
● 选用小型腔体，反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。
内槽
技术规格
| 型号 | YSP600U | YSP2KU |
| 模式 | RIE（DP模式选购） | |
| 高频输功率 | 600W | 2000W |
| 反应台尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
| 反应气体 | 2进气系统（氧气、氩气） | |
| 反应气体流量控制 | 质量流量控制器 | |
| 气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 | |
