GVC-2000磁控离子溅射仪

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GVC-2000磁控离子溅射仪

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广州智汇科学仪器有限公司, 是一家专业从事实验室仪器销售的企业。公司位于广州番禺区CBD-华新汇。我们深耕科学仪器行业,与多家品牌建立了良好的合作关系。 公司产品主要涉及材料分析领域:包括扫描电镜、电镜制样设备、X射线衍射仪、比表面积分析仪、拉曼光谱、ICP、热分析、实验室常用设备、耗材试剂等。其中我们是电镜品牌KYKY、XRD品牌理学的代理商。 我们踏入科学仪器行业发展至今,已积累了相当丰富的行业经验。我们致力于不断的关注科学仪器行业的发展,积极的面向用户推荐优势的产品,全力为客户整合的实验室设备解决方案。

详细信息


主要参数

外形尺寸

424(L)×345(D)×420(H)

输入电源

220V/800W

可用靶材

所有金属、部分化合物

靶材尺寸

φ57mm

真空室

高硅硼玻璃 φ200×130mm

工作介质

高纯氩气(≥4N)

低真空泵

旋片泵

抽速

1.1L/s

高真空泵

进口涡轮分子泵

抽速

90L/s

极限真空

≤5×10-3Pa

工作真空

0.1-3Pa

溅射电流

5-200mA 可调

溅射时间

1-999s 可调

样品台

φ125mm

样品台转速

4-20rpm 可调

显示屏

7 英寸  TFT 彩色触摸屏

抽气节拍

≤5 分钟

进气

全自动

放气

全自动

预溅射

具备预溅射挡板,全自动控制

保护功能

过流保护、真空保护、分子泵过热保护等

膜厚仪

(选配)

可实时显示镀膜厚度,并通过设定来控制镀膜过程,测量精度

0.1nm,单次镀膜设定范围 1-999nm,测量范围 10μm

其它

可根据用户需要,提供定制化产品


若需了解更多资料,请致电联系!




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