日本shinkuu 小型喷金仪MSP-1S 离子溅射仪
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该设备是用于SEM观察的贵金属薄膜镀膜设备。它是一种执行贵金属涂层以防止 SEM 样品充电并提高二次电子产生效率的设备。除了通过磁控管靶电极进行低压放电外,样品台制成浮动式,以减少由于电子束流入造成的样品损坏。操作简单,按一下按钮,没有技巧。它很小,不占用空间。在桌子的角落里很有用。
用于 SEM 样品的金属镀膜装置。
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物品 | 规格 |
电源 | AC100V(单相100V10A)3P插头1口带地 |
旋转泵 | 10L/min(设备内置) |
设备尺寸 | 宽 200 毫米 x 深 350 毫米 x 高 345 毫米 (设备重量:14.6 公斤) |
样品室尺寸 | 内径 120 毫米 x 高 65 毫米(硬玻璃) |
样本表大小 | 直径50毫米(浮动法) |
电极样品台间距 | 35 mm(使用辅助样品台时为 25 mm) |
靶电极 | 内置永磁体的磁控管型靶电极 |
目标金属规格 | Φ51 mm, 厚度 0.1 mm Pt, Pt-Pd, Au, Au-Pd, Ag |