六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备 工业烘箱

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六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备 工业烘箱

型号
参数
材质:不锈钢 工作室尺寸:450mm 功率:3.0 加工定制:是 类型:真空 适用范围:六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理 温度范围:250℃
上海隽思实验仪器有限公司

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HMDS烘箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,PI烤箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,超低温试验箱

上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
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详细信息

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备的作用

    六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理的工艺是匀胶前衬底“增附”处理。在光刻中,通常会用到一些例如蓝宝石、氮化镓、砷化镓甚至是贵金属薄膜等衬底,这类衬底与光刻胶的粘附性往往不怎么理想,这会导致后续的光刻显影环节出现“裂纹”甚至是漂胶等问题。因此必须通过工艺手段改善,这个步骤我们叫做增附处理或者叫做助黏。

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备的性能  


HMDS药液低液位报警:

自动吸取HMDS:

可自动添加HMDS:

HMDS药液泄漏报警:

HMDS气体管路加热系统:

参数记录功能:

温度与程序互锁功能:

容积大小:350*350*350/450*450*450/600*600*600(mm)可定制

温度范围:RT+10-250℃

真空度:≤133pa(1torr)       

控制系统;人机界面+PLC

搁板层数:2层

HMDS控制:可控制HMDS药液的添加量

真空泵: 涡旋无油泵


不正确的六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理方法
 如果液体的HMDS被直接旋涂在衬底上,HMDS层只能起到物理上的粘附层的作用,并不能改善粘附性;其次,HMDS层在前烘过程中释放出氨,从衬底附近的进入交联的光刻胶层中,从而抑制显影过程。

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产品参数

材质 不锈钢
工作室尺寸 450mm
功率 3.0
加工定制
类型 真空
适用范围 六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理
温度范围 250℃
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