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JS-HMDS90 HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱
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上海隽思实验仪器有限公司（以下简称“隽思仪器”）是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！
隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统，HMDS烘箱，洁净烤箱，百级洁净烘箱，氮气烘箱，高温无氧烘箱，真空无氧烘箱，无尘无氧化烘箱，抗粘剂涂胶机，精密恒温加热台，快速高低温气流仪，超低温试验箱，高低温试验箱，高低温交变湿热箱定做，HMDS真空涂胶烘箱，低温脆性检测仪，黑蒜发酵设备，导体直流电阻测试仪，电线电缆检测仪器，真空烘箱，黑蒜试验机，橡塑检测试验机等。
不断追求技术进步、提升专业服务能力，做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理，在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程，形成了覆盖全国的快速服务网络，以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会，以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来！
详细信息
HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱用途
二合一真空腔体带来更低的成本、更高的效率和更可靠的工艺。的温控、工艺时间和腔体尺寸控制系统让您用更少的化学品，实现对沉积过程环境的掌控。
智能型HMDS真空系统可快速、均匀、经济高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 对晶圆表面进行底漆处理，从而改善光刻胶的附着力。
有效的光刻胶处理是后续所有工艺步骤的基础，只有被处理的表面才能准确复制，避免蚀刻不足或边缘粗糙。JS-HMDS系列真空系统可脱水晶圆，使HMDS 层附着力更强，即使暴露于大气湿气数周也能保持稳定。
智能型HMDS真空系统 HMDS预处理系统特点
通过使用六甲基二硅氮烷（HMDS）对晶圆表面进行快速、均匀、且成本效益高的硅烷化处理，有效增强了与光刻胶的粘合性。
真空镀膜技术能脱水晶圆，确保了更强的粘接强度。
即便长时间暴露于潮湿的空气中，HMDS层也能维持其稳定性。
我们的控制系统支持用户根据需要选择温度、处理时长及腔室尺寸。
此外，我们的技术还能降低化学物品的使用量和成本，实现经济效益。
通过工艺处理，达到图像反转效果，解决了图像反转光刻胶的复杂性。
HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱参数
设备型号：JS-HMDS90AI
工作室尺寸（mm）： 450×450×450，650*650*650,可自定
材质：外箱采用优质冷轧板喷塑或不锈钢，内箱采用316L医用级不锈钢
温度范围：RT+10-200℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：≤±0.5
真空度：1torr
洁净度：设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
控制仪表：人机界面
搁板层数：2层
HMDS控制:可控制HMDS药夜添加量
真空泵：旋片式油泵或干泵
保护装置:HMDS药液泄漏报警装置，HMDS自动添加，超温保护，漏电保护，过热保护
