AX10FD气体流量计 微小流量计 微小气体质量流量计
工作原理
AX10FD 系列气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校
正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体
的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金 RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包
装壳内。
用途与特点
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
主要技术指标
量程范围 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0~1,2,3,5,10）SLM
准确度 +1.5%F.S
线性 +0.5~1.5%F.S
重复精度 +0.2%F.S
响应时间 10sec 气特性：（1~4）sec
工作压差 0.1~0.5MPa
耐压 3Mpa 6Mpa 10Mpa
工作环境温度 0~70℃
数字量 RS485 MODBUS 协议
模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选
电特性：SLM
供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜50mA，控制器＜200mA
电气连接 DB15
漏率 1×10 SCCSHe
底座材质 316L 不锈钢
密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
气路接头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.
质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)
注意事项
加装过滤器
使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，房子液体回流损坏流量计。
使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）,氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清晰、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时，应在定货时声明。
使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。
安装位置问题
本控制器安装时***保持安装面水平，但对位置并不特别敏感， 可以任意位置安
装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。
阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在 2%F.S 以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的 2%, 则应进行维修。
标定与不同气体的换算
本流量质量控制器出厂通常用氮气(N ₂ )标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员特别申明。
用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。
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