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气体质量流量控制器AX10FD
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西安奥信自动化仪表有限责任公司专业生产及销售各种管道式电磁流量计，插入式电磁流量计，外敷超声波流量计，便携式超声波流量计，手持式超声波流量计，涡轮流量计，涡街流量计，流量积算仪，流量积算仪等。 公司自成立以来就积极推进“以人为本”、“以质量求生存”、“以技术求发展”的企业发展战略，内抓管理，外拓市场，通过ISO9001质量体系认证，合同信用AAA企业证书等。公司先后从国内外引进*的生产设备和流量标定设备，企业依托可靠的质量、精良的设备，*的工艺，产品运用遍及各个行业，如石油化工、造纸、城建、冶金、电力、食品医药、环保、水处理等，部分产品常年出口韩国、日本、中东等地区。 坚持科技是以生产力的理念，竭诚欢迎国内、国际有识之士与我们合作，携手并进，共创辉煌。
详细信息
气体质量流量控制器AX10FD 质量流量控制器
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1.产品介绍
1.1 用途与特点
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
1.2 工作原理
AX10FD 系列气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。
1.3主要技术指标
