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类型 8715 - 气体质量流量调节器 (Mass Flow Controller)
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详细信息
型号 8715 是一台用于调节侵蚀性气体质量流量的装置，它需要一个与介质相分离的传感器。在数字的电子调节设备中，会将传感器提供的实际值与规定的额定值进行比较；存在调节偏差时，会通过一种 PI 调节算法对发送到比例阀上的调节参数进行修改。这样一来，就可以将质量流量保持在一个确定的数值上，或使其遵循规定的曲线轮廓，而不会受到压力波动或设备中其他变化的影响。 可针对两种不同的气体对型号 8715 进行校准，用户可在两者之间进行转换。一个直动式比例阀作为调节元件，确保了高反应灵敏度和装置良好的调节特性。通过数字方式与更高一级的设备进行通讯，这样一来，就可以省去额外的 D/A 转换。
采用毛细管技术的旁通仪器，适合额定流量范围 5 mlN/min 至 15 lN/min
适合侵蚀性气体
紧凑型版本和数字通讯
采用毛细管技术的旁通仪器，适合额定流量范围 5 mlN/min 至 15 lN/min
适合侵蚀性气体
紧凑型版本和数字通讯
