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多轴路同步测量激光干涉仪(型号:ZLM800,德国JENAer公司生产,)
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上海贝丁汉工业自动化设备有限公司——主要从事各种进口仪器仪表、机械设备、电子产品及其配件等的销售和技术服务工作。 为英国Scantron Industrial Products Ltd公司总代理,德国JENAer公司中国总代理和匈牙利CE Optics中国总代理。经营的主要产品包括非接触三维光学式表面粗糙度轮廓仪、在线厚度检测仪、激光直线度测量仪、激光平面度测量仪、激光平行度测量仪、激光垂直度测量仪、孔同轴度检测仪、主轴同轴度校准仪、缸筒直线度检测仪、激光对中仪、激光几何测量系统、辊轴平行度校准仪、激光皮带轮校正仪、双频激光干涉仪、多点温度测量仪、应变应力测量系统、相位波前角色散测量仪、材料色散测量仪、载波包络相位调谐仪等。
本公司的激光仪器主要为激光准直、对中、校正和系统检测。功能包括各种机械设备和部件的平面度检测、直线度检测、平行度检测、垂直度检测、孔的同轴度检测、车床和车削中心的主轴对中检测、联轴器和电机轴的对中校正检测、辊轴平行度校准和皮带轮对中找正等。广泛应用于机床加工中心几何量检测、航空航天设备的组装和工装的校正、船舶制造工业标线和艉轴管检测、汽车发动机同轴度、电厂汽轮机隔板同轴度、各种印刷造纸注塑设备辊轴的平行度的检测,及机床的定位、补偿和运动平台的微位移检测等。
产品功能
ZLM800多轴路同步测量激光干涉仪——真正的双频激光干涉仪,主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等,最多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系检测物体的振动变化。
1.纳米级的多轴联动位移、速度、加速度的动静态测量分析及运动控制环同步测量校准;
2.同步实时测量多轴联动驱动部件的俯仰、扭摆、滚动的角位移变化, X-Y-Z 轴的联动插补位移误差及驱动匹配误差分析;
3.纳米级振动的多轴向同步数据采集测量和分析。
±0.1ppm 示值 资料下载
性能优势
技术参数
32 Bit (实时时间)
数据延时< 20 ns
应用案例
ZLM800部分光路图示例
从X、Y和Z方向同时测量位移变化,其中X和Y在一个水平层面上
视频资料(光刻机应用)