多轴路同步测量激光干涉仪(型号:ZLM800,德国JENAer公司生产,)

首页>仪器主类>测量计量仪器>激光干涉仪

多轴路同步测量激光干涉仪(型号:ZLM800,德国JENAer公司生产,)

型号

该企业相似产品

 上海贝丁汉工业自动化设备有限公司——主要从事各种进口仪器仪表、机械设备、电子产品及其配件等的销售和技术服务工作。 为英国Scantron Industrial Products Ltd公司总代理,德国JENAer公司中国总代理和匈牙利CE Optics中国总代理。经营的主要产品包括非接触三维光学式表面粗糙度轮廓仪、在线厚度检测仪、激光直线度测量仪、激光平面度测量仪、激光平行度测量仪、激光垂直度测量仪、孔同轴度检测仪、主轴同轴度校准仪、缸筒直线度检测仪、激光对中仪、激光几何测量系统、辊轴平行度校准仪、激光皮带轮校正仪、双频激光干涉仪、多点温度测量仪、应变应力测量系统、相位波前角色散测量仪、材料色散测量仪、载波包络相位调谐仪等。

    本公司的激光仪器主要为激光准直、对中、校正和系统检测。功能包括各种机械设备和部件的平面度检测、直线度检测、平行度检测、垂直度检测、孔的同轴度检测、车床和车削中心的主轴对中检测、联轴器和电机轴的对中校正检测、辊轴平行度校准和皮带轮对中找正等。广泛应用于机床加工中心几何量检测、航空航天设备的组装和工装的校正、船舶制造工业标线和艉轴管检测、汽车发动机同轴度、电厂汽轮机隔板同轴度、各种印刷造纸注塑设备辊轴的平行度的检测,及机床的定位、补偿和运动平台的微位移检测等。

详细信息

产品功能
    ZLM800多轴路同步测量激光干涉仪——真正的双频激光干涉仪,主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等,最多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系检测物体的振动变化。
    1.纳米级的多轴联动位移、速度、加速度的动静态测量分析及运动控制环同步测量校准;
    2.同步实时测量多轴联动驱动部件的俯仰、扭摆、滚动的角位移变化, X-Y-Z 轴的联动插补位移误差及驱动匹配误差分析;
    3.纳米级振动的多轴向同步数据采集测量和分析。


性能优势

l          系统采用双频激光发射器及多轴路干涉信号同步数据处理器,是正意义上的双频激光干涉仪,频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别,双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l           激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm
l          干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm
l          基于可朔源的激光波长为位移量度量基准,应用双频激光外差式干涉原理及交流光电信号处理器,克服了单频激光干涉测量的直流电平漂移及受环境因素光强变化约束的弊端,具有的增益、高信噪比和抗电磁干扰性能,实现了可朔源的多光路外差式激光干涉测量。
l          采样频率更快,达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l          被测物体速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。
l          无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。
l          信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。
l          对于多轴联动复杂光路的角度和微位移的测量,ZLM800型是理想的选择

技术参数
型号:ZLM800
使用高性能PCI或机架式数据处理器
He-Ne激光平均波长:
632.8 nm
激光稳频精度:
一小时2x10-9±0.002ppm
寿命内2x10-8±0.02ppm
系统精度(0-40℃时):
±0.4ppm
光束直径:
6mm (可选3.2mm)
激光管突发输出功率:
5mW (激光等级2)
每束光可测量的轴数:
最多6
线性测量距离:
2m
角度测量范围:
± 10°
速度:
2m/s
加速:
无限制
采样频率:
内部1MHz,外部40MHz
预热时间:
10分钟
位移测量分辨率:
1.25nm
位移测量精度(20℃±0.5℃时):
±0.4ppm (μ/m)
角度测量分辨率:
0.012角秒
角度测量精度:

±0.1ppm 示值

数据接口:
积分信号
32 Bit (
实时时间)
数据延时< 20 ns
数据分析标准:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境:
温度:15°C-30°C
湿度:<90%无冷凝
储存环境:
温度:10°C-40°C
湿度:<95%无冷凝

应用案例
以下是为某项目设计的ZLM800两个应用案例。在个案例中,用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动,实时测试两个摆镜对应量(俯仰、偏摆和位移)的差异情况。在第二个案例中,用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况,2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。


 
下述案例是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中,密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量,以及这两个目标在Z方向的相对变化量。


ZLM800部分光路图示例


从X、Y和Z方向同时测量位移变化,其中X和Y在一个水平层面上

从X、Y和Z方向同时测量位移变化,其中X和Y不在一个水平层面上

在水平方向同时测量位移、偏摆和俯仰角度变化(上图)
 
在垂直方向同时测量位移、偏摆和俯仰角度变化(上图)
 
 
同时从X和Y方向测量位移和偏摆变化(上图)
 
同时从X和Y方向测量运动平台两个层面的位移变化(上图)
 
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的角度的变化(1)
 
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的变化(2)
 
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的变化(3)
 
机床行业对线性编码器和旋转编码器的动态同步进行标定(三个轴路)
 
光刻机应用布置图,测量位移和角度变化


视频资料(光刻机应用)

资料下载



 
 
如果用户有更复杂的光路需求,欢迎来电垂询!

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

在线询价 在线询价
您的留言已提交成功~

采购或询价产品,请直接拨打电话联系

联系人:

联系方式:
温馨提示

该企业已关闭在线交流功能