3D激光干涉仪(型号:ZLM900-3D,德国JENAer公司生产,)

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3D激光干涉仪(型号:ZLM900-3D,德国JENAer公司生产,)

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 上海贝丁汉工业自动化设备有限公司——主要从事各种进口仪器仪表、机械设备、电子产品及其配件等的销售和技术服务工作。 为英国Scantron Industrial Products Ltd公司总代理,德国JENAer公司中国总代理和匈牙利CE Optics中国总代理。经营的主要产品包括非接触三维光学式表面粗糙度轮廓仪、在线厚度检测仪、激光直线度测量仪、激光平面度测量仪、激光平行度测量仪、激光垂直度测量仪、孔同轴度检测仪、主轴同轴度校准仪、缸筒直线度检测仪、激光对中仪、激光几何测量系统、辊轴平行度校准仪、激光皮带轮校正仪、双频激光干涉仪、多点温度测量仪、应变应力测量系统、相位波前角色散测量仪、材料色散测量仪、载波包络相位调谐仪等。

    本公司的激光仪器主要为激光准直、对中、校正和系统检测。功能包括各种机械设备和部件的平面度检测、直线度检测、平行度检测、垂直度检测、孔的同轴度检测、车床和车削中心的主轴对中检测、联轴器和电机轴的对中校正检测、辊轴平行度校准和皮带轮对中找正等。广泛应用于机床加工中心几何量检测、航空航天设备的组装和工装的校正、船舶制造工业标线和艉轴管检测、汽车发动机同轴度、电厂汽轮机隔板同轴度、各种印刷造纸注塑设备辊轴的平行度的检测,及机床的定位、补偿和运动平台的微位移检测等。

详细信息

3D激光干涉仪--同步测量被测物体的位移、偏摆角和俯仰角 
激光器和镜组
 
数据处理器 
 
光学镜组 
 

世界范围内,同类产品中效率精度的干涉仪。

  • 三轴路外差式激光干涉仪,用于位移、俯仰角和偏摆角的同步测量
  • 高灵活性调整模块,方便安装和拆卸
  • 动态测量速度4m/s,实时显示三个轴路的测量数据
  • 小型反射镜,带有磁性固定装置
  • 适用于笔记本电脑、PCI和PXI数据处理器安装,与网络兼容  
  • 使用高精度温度传感器进行数据补偿
  • 激光器稳频精度:一小时:2x10^9(±0.002ppm),寿命内:2x10^8(±0.02ppm)
  • 数据同步精度:20ns   
  • 所有3轴实时数据测量,无延时  
  • 可定制小型反射镜
  • 外部触发频率40MHz


技术参数

位移测量范围

15 m

位移测量分辨率

1.25 nm

位移测量精度

+/-0.4 ppm(需使用环境补偿器)

位移测量速度

2 m/s

位移速度测量精度

1 ppm

角度测量范围

+/-10°

角度测量分辨率

0.012角秒

角度测量精度

+/-0.1 ppm(角度沿某中心旋转)

+/-0.02%+/-0.5+/-0.1M(M=轴向标定距离,单位为米)

角度测量速度

90 rad/s

角速度测量精度

1 ppm

 

上图为从一个坐标轴方向同步测量物体的位移、偏摆和俯仰角光路图



上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统,光束由激光头发出后进入干涉镜,3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分:
信号光束1用于位移的测量,信号光束2用于俯仰角的测量,信号光束三用于偏摆角的测量。
所有的光束照射到被测物体(3-轴反射镜固定在被测物体上)后再次反射到干涉镜上,每个信号光束与反射的光束进行干涉,然后干涉光束传输到激光头里,进行信号分析后进入到软件里。

三轴测量软件(位移、偏摆和俯仰角) 三角关系的设定
测量结果的统计 在位置5开始测量
位移和角度的测量 ISO230数据统计标准

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