W1光学3d轮廓测量仪中图仪器SuperViewW1

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SuperViewW1 W1光学3d轮廓测量仪中图仪器SuperViewW1

型号
SuperViewW1

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深圳市中图仪器股份有限公司是,致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。  中图仪器坚持以技术创新为发展基础,现有员工200余人,集光、机、电、信息技术于一体的专业技术团队、历经了十多年的技术积累和发展实践、专业覆盖面广,专项技术能力强,具有多项技术和软件知识产权。在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了的设计、制造优势,具备了从纳米到百米为用户提供专业的精密测量解决方案的能力。 中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地,在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地,按照ISO9001、6S等标准进行生产,为客户提供的产品。  中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区,海外市场快速成长,营销网络日逐完善。  中图仪器经过十多年在几何量测量领域的潜心研究,设计制造了Super View系列白光干涉仪、GT系列激光跟踪仪、SJ6000系列激光干涉仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ2000系列指示表自动检定仪等众多测量、计量设备。从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量,为用户提供专业的精密测量解决方案。  目前,中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业,部分产品达到水平,参与制定了多项国家标准,为中国仪器在精密测量、计量检测领域的技术进步做出了应有的贡献。  未来,中图仪器还将专注于精密测量检测技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新,为制造技术的快速发展贡献我们的力量,图中国仪器技术之强大,铸中国产业提升之利器。

详细信息

中图仪器W1光学3d轮廓测量仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件,且测量速度快,不必像探头逐点进行测量,特别对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。
 
 

产品功能

1)中图仪器W1光学3d轮廓测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
 

性能特色

1、高精度、高重复性
1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;
2)隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;
2、一体化操作的测量分析软件
1)测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;
2)可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;
3)结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;
4)几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;
5)一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;
6)可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4、双重防撞保护措施
除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,保护仪器,降低人为操作风险。
5、双通道气浮隔振系统
中图仪器W1光学3d轮廓测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。

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