中图仪器SuperViewW1
非接触3d光学轮廓仪采用白光干涉技术结合可选的高精度相移干涉技术以及针对粗糙样品开发出的绿光干涉技术,并以实惠的价格实现样品表面微纳米三维形貌的一键测量。
SuperViewW1
非接触3d光学轮廓仪设计简洁、用途多样。它能够测量不同的材质,结构,表面粗糙度和波度,几乎涵盖所有类型的表面形貌,适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、弯曲变形情况、磨损情况、腐蚀情况、粗糙度、孔隙间隙、表面缺陷、波纹度、台阶高度、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
它的多功能性能够满足广泛的形貌测量应用。分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
应用范例 产品参数
性能特征
1、高精度、高重复性
3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统,以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统,保证了测量精度和测量重复性。
2、一体化操作的测量分析软件
测量数据自动统计,可视化窗口,结合自定义分析模板的自动化测量功能,实现了快速批量测量的功能,自动完成多区域的测量与分析过程。
3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。
4、双重防撞保护措施
(1)软件防撞保护ZSTOP
即在Z轴上设置停止位,设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离,当镜头运动到该位置时,就立刻停止不再向下运动,起到保护样品和镜头的作用。
(2)Z轴硬件防撞传感器
在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品,也守护每一分价值和信任。