UVISEL Plus椭偏仪

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UVISEL Plus椭偏仪

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详细信息

基于25年经验,UVISEL Plus相位调制椭偏仪提供纯正有效的偏振调制,可用于各种样品的精确测量,的FastAcqTM快速采集技术使得测试灵敏度提高至原有的2倍,从而能获得界面薄膜和纳米级低衬度衬底样品的更多信息。可在3分钟以内实现高分辨的样品测试(190-2100nm),校准仅需几分钟。模块化设计,可灵敏拓展,具有更好的可升级性能。UVISEL Plus是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。

UNISEL.png

主要特点

* 50kHz 高频PEM 相调制技术,测量光路中无运动部件

* 具备超薄膜所需的测量精度,超厚膜所需的高光谱分辨率

* 具有毫秒级超快动态采集模式,可用于在线实时监测

* 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件

* 配置灵活


规格参数

调制方式相位调制+斩波器 双调制
调制频率50kHz
光谱范围

190-920nm(可扩展到2100nm)

* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )

* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )

* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )

* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )

光谱分辨率<>
杂散光抑制率<>
色散公式≥ 31个
材料模型库≥ 300个
微光斑类型反射式,全光谱消色差
微光斑可选50μm,100μm,1mm(90度)
探测器分别针对紫外,可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器
样品台手动/自动,支持12英寸晶圆(可选)
自动量角器变角范围35° - 90°,全自动调整,最小步长0.01°


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