Transpector MPH 残余气体分析仪

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Transpector MPH 残余气体分析仪

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Transpector MPS 残余气体分析仪

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深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。

详细信息

Transpector MPH 残余气体分析仪

监控您的过程

的性能有助于提高产量并实现最长运行时间

持续升高的硅晶圆价格和成品需求意味着损坏晶圆的代价比以前更高。因此,在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector
MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内的性能,有助于限度地提高芯片产量,降低工具停工时间。Transpector MPH
兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性,有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON
发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长,制造的 RGA 拥有业内的数据采集速度、可检测分压和最小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲 INFICON
Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。


功能

  • 模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms 每点数据率
  • TCP/IP 以太网连接
  • 双丝极
  • 可现场更换电子倍增器
  • 组合阳极、阴极和反射极丝极套件
  • 较短的传感器可降低安装占地面积
  • 九个数量级的动态量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型号)
  • 信噪比更高
  • 可调换传感器和电子元件
  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
  • 符合 RoHS 标准

规格

类型 MPH100F MPH100M MPH200F MPH200M MPH300F MPH300M
传感器长度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
质量范围 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
检测器类型 FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
灵敏度 (FC) 6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
灵敏度 (EM) NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
最小可检测分压 3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
传感器工作温度(FC) 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
传感器工作温度(EM) NA 150°C NA 150°C NA 150°C
丝极类型选件 (1) Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
丝极类型选件 (2) Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
分辨率(整个质量范围内) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3)
温度系数 <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C
每点数据率 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms
零冲击(@ 质量 2) <5 ppm <5 ppm <65 ppm <65 ppm <100 ppm <100 ppm
工作压力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤温度 °C°F 300 300 300 300 300 300
功率输入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 用于普通应用

(2) 用于卤素环境应用

(3) 位于峰值高度的 10%

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