Transpector MPS 残余气体分析仪

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Transpector MPS 残余气体分析仪

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Transpector MPH 残余气体分析仪

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深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。

详细信息

Transpector MPS 残余气体分析仪

气体分析标准

为一般真空应用带来性能和非凡价值
随着制造技术的进步和质量标准的变更,了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector
MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查,帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的
RGA 性能。

Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型号,使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS
成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。


功能

  • 双丝极
  • 可现场更换电子倍增器
  • 可现场更换阳极、阴极和反射极丝极组件
  • 可调换传感器和电子元件
  • TCP/IP 以太网连接
  • 较短的传感器可降低安装占地面积
  • 九个数量级的动态量程
  • 模拟扫描和所选峰值的 3 ms 每点数据率
  • <1.5E-14 Torr 的 MDPP
  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
  • 符合 RoHS 标准

规格

类型 MPS100F MPS100M MPS200F MPS200M
传感器长度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
质量范围 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu
检测器类型 FC EM FC EM
灵敏度 (FC) 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM) NA 500 amps/Torr NA 500 amps/Torr
最小可检测分压 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr
传感器工作温度(FC) 200 °C NA 200 °C NA
传感器工作温度(EM) NA 150 °C NA 150 °C
丝极类型选件 Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1) <1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide
温度系数 (2) <1% per °C <1% per °C <1% per °C <1% per °C
每点数据率 3 ms 3 ms 3 ms 3 ms
零冲击(位于质量 2) <100 ppm <100 ppm <100 ppm <100 ppm
工作压力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤温度 300 °C 300 °C 300 °C 300 °C
功率输入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 位于峰值高度的 10%

(2) 时长 8 小时,半小时预热时间;仅适用于 FC 模式

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