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SE-VM光谱椭偏仪
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武汉颐光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是国内专业从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，是椭偏光学仪器领域优势的技术团队。 公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向，为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。 颐光科技充分利用区域的交通便利和人才优势，立志成为优秀的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地，立志成为国际企业值得信赖的合作伙伴。
详细信息
一、概述
SE-VM 是一款超高精度快速测量光谱椭偏仪，其采用行业的椭偏创新技术，具备 1 双旋转补偿器同步控制技术，2 透明基底消背反技术 等技术。快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。
■ 高精度椭偏测量解决方案；
■ 超高精度、快速无损测量；
■ 支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；
■ 丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。
二、产品特点
■ 采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)，可支持扩展紫外到近红外范围 (193-2500nm)
■ 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；
■ 支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制；
■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；
三、产品应用
广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。
四、产品技术参数
建议配件
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| 温控台 | Mapping扩展模块 | 真空泵 | 透射吸附组件 |
