中图仪器光学轮廓仪全自动测量工件3D表面形貌SuperViewW1

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SuperViewW1 中图仪器光学轮廓仪全自动测量工件3D表面形貌SuperViewW1

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SuperViewW1

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深圳市中图仪器股份有限公司是,致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。  中图仪器坚持以技术创新为发展基础,现有员工200余人,集光、机、电、信息技术于一体的专业技术团队、历经了十多年的技术积累和发展实践、专业覆盖面广,专项技术能力强,具有多项技术和软件知识产权。在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了的设计、制造优势,具备了从纳米到百米为用户提供专业的精密测量解决方案的能力。 中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地,在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地,按照ISO9001、6S等标准进行生产,为客户提供的产品。  中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区,海外市场快速成长,营销网络日逐完善。  中图仪器经过十多年在几何量测量领域的潜心研究,设计制造了Super View系列白光干涉仪、GT系列激光跟踪仪、SJ6000系列激光干涉仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ2000系列指示表自动检定仪等众多测量、计量设备。从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量,为用户提供专业的精密测量解决方案。  目前,中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业,部分产品达到水平,参与制定了多项国家标准,为中国仪器在精密测量、计量检测领域的技术进步做出了应有的贡献。  未来,中图仪器还将专注于精密测量检测技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新,为制造技术的快速发展贡献我们的力量,图中国仪器技术之强大,铸中国产业提升之利器。

详细信息

中图仪器光学轮廓仪全自动测量工件3D表面形貌,它是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
 


中图仪器光学轮廓仪全自动测量工件3D表面形貌,除用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。

结果组成:
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。
 

主要应用领域:
1、用于太阳能电池测量;
2、用于半导体晶圆测量;
3、用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量;
4、用于机械部件的计量;
5、用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量。

中图仪器光学轮廓仪全自动测量工件3D表面形貌,X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。

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