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SuperViewW3 光学轮廓仪，大尺寸三维微观形貌测量仪SuperViewW3
- 型号
- SuperViewW3
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深圳市中图仪器股份有限公司是，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。 中图仪器坚持以技术创新为发展基础，现有员工200余人，集光、机、电、信息技术于一体的专业技术团队、历经了十多年的技术积累和发展实践、专业覆盖面广，专项技术能力强，具有多项技术和软件知识产权。在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了的设计、制造优势，具备了从纳米到百米为用户提供专业的精密测量解决方案的能力。 中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地，在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地，按照ISO9001、6S等标准进行生产，为客户提供的产品。 中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区，海外市场快速成长，营销网络日逐完善。 中图仪器经过十多年在几何量测量领域的潜心研究，设计制造了Super View系列白光干涉仪、GT系列激光跟踪仪、SJ6000系列激光干涉仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ2000系列指示表自动检定仪等众多测量、计量设备。从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量，为用户提供专业的精密测量解决方案。 目前，中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业，部分产品达到水平，参与制定了多项国家标准，为中国仪器在精密测量、计量检测领域的技术进步做出了应有的贡献。 未来，中图仪器还将专注于精密测量检测技术的发展，自强不息、知难而上、勇于创新，为制造技术的快速发展贡献我们的力量，图中国仪器技术之强大，铸中国产业提升之利器。
详细信息
产品功能
1) 样件测量能力：满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2) 自动测量功能：自动单区域测量功能、自动多区域测量功能、自动拼接测量功能；
3) 编程测量功能：可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动测量功能，实现一键测量；
4) 数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
5) 数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
6) 批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；
作为大尺寸三维微观形貌测量仪，SuperViewW3光学轮廓仪的X/Y方向标准行程为300*300mm，真空吸附盘能检测12寸及以下尺寸的Wafer；气浮隔振设计&吸音材质隔离设计，能确保仪器在千级车间中能够有效滤除地面和声波的振动干扰，稳定工作。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。
半导体领域专项产品功能
1）同步支持6、8、12英寸三种规格的晶圆片测量，并可一键实现三种规格的真空吸盘的自动切换以适配不同尺寸晶圆；2）具备研磨工艺后减薄片的粗糙度自动测量功能，能够一键测量数十个小区域的粗糙度求取均值；
3）具备晶圆制造工艺中镀膜台阶高度的测量，覆盖从1nm~1mm的测量范围，实现高精度测量；
SuperViewW3光学轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。
